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 敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺

海德漢的大多數(shù)光柵尺采用光電掃描原 理。

光電掃描在工作中無(wú)接觸，因此無(wú)磨 損。光電掃描可以檢測(cè)到非常細(xì)小的光 柵，柵線寬度可僅數(shù)微米，并能輸出非常 細(xì)小的信號(hào)周期信號(hào)。 測(cè)量基準(zhǔn)的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn) 象越嚴(yán)重。

海德漢直線光柵尺采用兩種掃 描原理：

• 成像掃描原理用于10 µm至200 µm的柵 距。

• 干涉掃描原理用于柵距4 µm甚至更小柵 距的光柵。 成像掃描原理 簡(jiǎn)單地說(shuō)成像掃描原理是用透射光生成信 號(hào)：兩個(gè)柵距相同或相近的光柵與掃描掩 膜彼此相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

掃描掩膜的基體為透明 色，而作為測(cè)量基準(zhǔn)的光柵材料可為透明 材料也可以為反光材料。 當(dāng)平行光穿過(guò)光柵時(shí)，以特定的間隔形成 明暗的光影區(qū)。在該處設(shè)有柵距相同或相 近的掃描光柵。當(dāng)兩個(gè)光柵相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，

入射光被調(diào)制：在狹縫對(duì)齊時(shí)，光線通 過(guò)。如果一個(gè)光柵的刻線與另一個(gè)光柵的 狹縫對(duì)齊，光線無(wú)法通過(guò)。光電池將這些 光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)化成電信號(hào)。特殊結(jié)構(gòu)的掃描 掩膜將光強(qiáng)調(diào)制為近正弦輸出信號(hào)。光柵 條紋的柵距越小，掃描掩膜與光柵尺間的 間距越小，公差越嚴(yán)。

對(duì)于成像掃描原理 的光柵尺，10 μm或更大柵距的光柵尺可 滿足實(shí)用的安裝公差要求。 LIC和LIDA系列直線光柵尺為成像掃描原 理。

 敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺LIC 2119，LIC 2199

式直線光柵尺，測(cè)量長(zhǎng)度達(dá)3 m

• 測(cè)量步距100 nm或50 nm

• 鋼尺帶，粘結(jié)在安裝面上

• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用