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敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
當平行光穿過光柵時，以特定的間隔形成明暗的光影區。在該處設有柵距相同或相近的掃描光柵。當兩個光柵相對運動時，入射光被調制：在狹縫對齊時，光線通過。如果一個光柵的刻線與另一個光柵的狹縫對齊，光線無法通過。光電池將這些光強變化轉化成電信號。特殊結構的掃描掩膜將光強調制為近正弦輸出信號。光柵條紋的柵距越小，掃描掩膜與光柵尺間的間距越小，公差越嚴。對
產品簡介
詳細介紹
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
干涉掃描原理 干涉掃描原理是利用精細光柵的光衍射和 光干涉生成位移測量的信號。
階梯光柵作為測量基準：在平反光面上刻 有0.2 µm高度的反光線。其前方是掃描掩 膜，其柵距與光柵尺的柵距相同，是透射 相位光柵。
光波穿過掃描掩膜時，將光波衍射為光強 近似的三束光：+1、0和-1。在被光柵尺 衍射的光波中，在反射的衍射光中，光強 很強的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩 膜的相位光柵處再次相遇，再一次被衍射 和干涉。也形成三束光，并以不同的角度 離開掃描掩膜。光電池將這些交變的光強 轉化成電信號。、 當光柵與掃描掩膜之間有相對運動時，衍 射波面產生相位移：移過一個柵距時將正 一級衍射波面在正方向上偏移一個光波波 長，而負一級衍射光波面在負方向上偏移 一個光波波長。由于這兩束光離開相位光 柵時相互發生干涉，這兩束光彼此相對位 移兩個光波波長。也就是說，相對運動一 個柵距可以得到兩個信號周期。
干涉光柵尺的柵距較小，例如8 µm、4 µm甚至更小。其掃描信號基本沒有高次 諧波，能進行高倍頻細分。因此，這些光 柵尺特別適用于小測量步距和高精度應 用。當然都滿足實用的安裝公差要求。
LIP、LIF和PP直線光柵尺采用干涉掃描 原理。
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺LIP 382 超高精度增量式直線光柵尺
• 測量步距 < 1 nm
• 測量基準用螺栓固定
