產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工 |
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高質量的光柵和掃描方式是直線光柵尺高精度和可靠工作的保證。海德漢敞開式直線光柵尺采用單場掃描原理,由單一的大型掃描場生成掃描信號。測量基準上的的局部污染(例如安裝過程中的手指印或導軌的油滴污染)只影響信號分量光強,因此等量地影響掃描信號。盡管這樣的污染造成輸出信號改變,但其偏移和相位不受影響。這些信號可高倍頻地細分,單信號周期內的位置誤差極小
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更新時間:2020-12-14 22:33:32瀏覽次數:427
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敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
測量精度
直線測量精度主要取決于
• 光柵質量,
• 光柵基體質量,
• 掃描質量,
• 信號處理電子電路質量和
• 光柵尺在機床內的安裝情況。
可將這些因素細分為特定編碼器的位置誤 差和應用相關的因素。為評估可獲得的系 統精度,必須綜合考慮各項因素中每一 項。
特定光柵尺位置誤差
特定光柵尺位置誤差包括
• 測量基準的精度,
• 細分精度,和
• 位置信號噪音。 測量基準的精度 測量基準的精度主要取決于
• 光柵的均勻性和柵距定義,
• 光柵與其基體找正情況,和
• 光柵基體的穩定性。
測量基準的精度由未補償的基線誤差大 值表示。在理想條件下,用批量生產的讀 數頭測量位置誤差,用于確定該精度。測 量點之間的距離等于信號周期的整數倍。 因此,細分誤差無影響。
精度等級a決定長度不超過一米的長度范 圍內基線誤差上限。對于特殊光柵尺,還 提供已定義的測量基準間距的基線誤差。
細分精度
細分精度主要受以下因素影響
• 信號周期大小,
• 光柵的均勻性和柵距定義,
• 掃描掩膜質量,
• 傳感器特性,及
• 信號處理質量。
細分精度由大批量生產的測量基準確定, 并用細分誤差的大典型值u表示。帶模 擬接口的光柵尺用海德漢電子設備(例如 EIB 741)測試。該大值不含位置信號噪 音,并將其標注在技術參數中。
細分誤差在非
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
LIDA 479,LIDA 489
增量式直線光柵尺,測量范圍可達6 m
• 測量步距達10 nm
• 自帶限位開關
• 鋼尺帶粘結在安裝面上
• 尺帶和讀數頭配套使用