敞開(kāi)式HEIDENHAIN直線光柵尺

堅(jiān)固耐磨的測(cè)量基準(zhǔn)

敞開(kāi)式直線光柵尺由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，測(cè)量 基準(zhǔn)的抗污染能力較低。為此，海德漢公 司全部采用*工藝生產(chǎn)非常堅(jiān)固耐磨的 光柵。

OPTODUR和SUPRADUR工藝中，為主反 光層上增加透光層。為形成光學(xué)三維相位 光柵，高硬度的鍍鉻層的厚度極薄，僅數(shù) 納米。成像掃描原理的光柵結(jié)構(gòu)與 METALLUR工藝的光柵類(lèi)似。在反光的金 層上覆蓋薄薄一層玻璃。其上為鉻線，作 為吸收器。由于厚度僅數(shù)納米，這些鉻線 是半透明線。實(shí)踐證明OPTODUR、 SUPRADUR或METALLUR光柵測(cè)量基準(zhǔn)的 抗污能力非常強(qiáng)，由于其刻線很薄，灰 塵、污物或水滴難以留在其表面上，因此 抗污染能力非常出眾。

實(shí)用的安裝公差

信號(hào)周期越小一般也要求讀數(shù)頭與鋼帶光 柵尺間的安裝公差越小。這是光柵的衍射 作用造成的。如果間隙僅變化±0.1 mm， 衍射將導(dǎo)致信號(hào)衰減50%。但由于光柵尺 采用干涉掃描原理和在成像掃描原理的光 柵尺上采用創(chuàng)新的掃描掩膜技術(shù)，盡管信 號(hào)周期很小，也允許實(shí)用的安裝公差。

海德漢公司的敞開(kāi)式直線光柵尺的安裝誤 差只對(duì)輸出信號(hào)有輕微影響。特別是光柵 尺與讀數(shù)頭間定義的間隙誤差（掃描間 隙）對(duì)信號(hào)幅值的影響十分輕微。工作期 間，HSP 1.0進(jìn)一步提高信號(hào)的可靠性和 穩(wěn)定性。通過(guò)這兩幅圖可看出LIDA 400和 LIF 400系列光柵尺掃描間隙與信號(hào)幅值間 關(guān)系。

 敞開(kāi)式HEIDENHAIN直線光柵尺

LIDA 477，LIDA 487

增量式直線光柵尺，測(cè)量范圍可達(dá)6 m

• 測(cè)量步距達(dá)10 nm

• 自帶限位開(kāi)關(guān)

• 易于安裝，配鋁制底座

• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用