產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
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光波穿過掃描掩膜時,將光波衍射為光強(qiáng)近似的三束光:+1、0和-1。在被光柵尺衍射的光波中,在反射的衍射光中,光強(qiáng)至強(qiáng)的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇,再一次被衍射和干涉。也形成三束光,并以不同的角度離開掃描掩膜。光電池將這些交變的光強(qiáng)轉(zhuǎn)化成電信號。
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更新時間:2020-12-14 22:06:53瀏覽次數(shù):386
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敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
可靠性
海德漢公司的敞開式直線光柵尺特別適用 于高速和精密機(jī)床。盡管機(jī)械結(jié)構(gòu)是敞開 式的,但這些光柵尺擁有較強(qiáng)抗污能力, 能確保優(yōu)異的長期穩(wěn)定性,而且安裝簡單 快捷。
抗污染能力強(qiáng)
高質(zhì)量的光柵和掃描方式是直線光柵尺高 精度和可靠工作的保證。海德漢敞開式直 線光柵尺采用單場掃描原理,由單一的大 型掃描場生成掃描信號。測量基準(zhǔn)上的的 局部污染(例如安裝過程中的手指印或?qū)?軌的油滴污染)只影響信號分量光強(qiáng),因 此等量地影響掃描信號。盡管這樣的污染 造成輸出信號改變,但其偏移和相位不受 影響。這些信號可高倍頻地細(xì)分,單信號 周期內(nèi)的位置誤差極小。
而且,大面積掃描場還能降低對污染的敏 感性。根據(jù)污染性質(zhì),該功能甚至可以避 免光柵尺失效。LIDA 400和LIF 400尤其如 此,這兩款光柵尺相對其柵距都擁有較大 的掃描場(14.5 mm2 )。LIC 4100同樣如 此,其掃描面積達(dá)15.5 mm2 。即使是打 印墨粉、印刷電路板粉塵、直徑3 mm以 內(nèi)的水滴或油滴,這些光柵尺仍提供高質(zhì) 量信號。位置誤差遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于光柵尺精度等 級對應(yīng)的誤差值。
LIDA、LIC、LIF和LIP 6000直線光柵尺配 海德漢HSP 1.0信號處理的ASIC處理 器。ASIC連續(xù)監(jiān)測掃描信號并幾乎*地 補(bǔ)償信號幅值的波動。如果掃描掩膜或測 量基準(zhǔn)污染導(dǎo)致信號幅值減小,ASIC提高 LED電流進(jìn)行響應(yīng)。即使高穩(wěn)定性的信 號,也能確保LED光強(qiáng)的增加只提高噪音 水平。因此,污染只輕微影響細(xì)分誤差和 位置噪音。
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
LIDA 475,LIDA 485
增量式直線光柵尺,測量長度長達(dá)30 m
• 測量步距達(dá)10 nm
• 自帶限位開關(guān)
• 易于安裝,配鋁制底座
• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用