敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺

 傳感器生成四路近正弦電流信號（I0°， I90°，I180°和I270°），相互間的相位差 為90°電子角。這些掃描信號開始時并 不對稱于零線。因此，反向平行地連接 光電池，以生成兩路相位差90°電子角 的輸出信號I1和I2，這兩路信號對稱于 零線。

在示波器的X/Y坐標圖中，這兩路信號 形成李薩如圖。理想輸出信號顯示為中 心圓。偏離正圓形和偏離位置的原因是 位置誤差所致，因此直接影響測量結 果。圓的大小對應于輸出信號幅值， 它可在一定限度內變化，不影響測量 精度

 干涉掃描原理

干涉掃描原理是利用精細光柵的光衍射和 光干涉生成位移測量的信號。

階梯光柵作為測量基準：在平反光面上刻 有0.2 µm高度的反光線。其前方是掃描掩 膜，其柵距與光柵尺的柵距相同，是透射 相位光柵。

光波穿過掃描掩膜時，將光波衍射為光強 近似的三束光：+1、0和-1。在被光柵尺 衍射的光波中，在反射的衍射光中，光強 至強的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩 膜的相位光柵處再次相遇，再一次被衍射 和干涉。也形成三束光，并以不同的角度 離開掃描掩膜。光電池將這些交變的光強 轉化成電信號。

當光柵與掃描掩膜之間有相對運動時，衍 射波面產生相位移：移過一個柵距時將正 一級衍射波面在正方向上偏移一個光波波 長，而負一級衍射光波面在負方向上偏移 一個光波波長。由于這兩束光離開相位光 柵時相互發生干涉，這兩束光彼此相對位 移兩個光波波長。也就是說，相對運動一 個柵距可以得到兩個信號周期。

干涉光柵尺的柵距較小，例如8 µm、4 µm甚至更小。其掃描信號基本沒有高次 諧波，能進行高倍頻細分。因此，這些光 柵尺特別適用于小測量步距和高精度應 用。當然都滿足實用的安裝公差要求。 LIP、LIF和PP直線光柵尺采用干涉掃描 原理。

敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺

 LIDA 473，LIDA 483

帶限位開關的增量式直線光柵尺

• 測量步距達10 nm

• 玻璃或玻璃陶瓷測量基準

• 易于安裝，粘結固定

• 直線光柵尺和讀數頭配套使用