產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工 |
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海德漢的大多數光柵尺采用光電掃描原理。光電掃描在工作中無接觸,因此無磨損。光電掃描可以檢測到非常細小的光柵,柵線寬度可僅數微米,并能輸出非常細小的信號周期信號。
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更新時間:2020-12-13 22:51:31瀏覽次數:345
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敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
海德漢的大多數光柵尺采用光電掃描原 理。
光電掃描在工作中無接觸,因此無磨 損。光電掃描可以檢測到非常細小的光 柵,柵線寬度可僅數微米,并能輸出非常 細小的信號周期信號。 測量基準的柵距越小,光電掃描的衍射現 象越嚴重。
海德漢直線光柵尺采用兩種掃 描原理:
• 成像掃描原理用于10 µm至200 µm的柵 距。
• 干涉掃描原理用于柵距4 µm甚至更小柵 距的光柵。 成像掃描原理 簡單地說成像掃描原理是用透射光生成信 號:兩個柵距相同或相近的光柵與掃描掩 膜彼此相對運動。
掃描掩膜的基體為透明 色,而作為測量基準的光柵材料可為透明 材料也可以為反光材料。 當平行光穿過光柵時,以特定的間隔形成 明暗的光影區。在該處設有柵距相同或相 近的掃描光柵。當兩個光柵相對運動時,
入射光被調制:在狹縫對齊時,光線通 過。如果一個光柵的刻線與另一個光柵的 狹縫對齊,光線無法通過。光電池將這些 光強變化轉化成電信號。特殊結構的掃描 掩膜將光強調制為近正弦輸出信號。光柵 條紋的柵距越小,掃描掩膜與光柵尺間的 間距越小,公差越嚴。
對于成像掃描原理 的光柵尺,10 μm或更大柵距的光柵尺可 滿足實用的安裝公差要求。 LIC和LIDA系列直線光柵尺為成像掃描原 理。
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺LIC 2119,LIC 2199
式直線光柵尺,測量長度達3 m
• 測量步距100 nm或50 nm
• 鋼尺帶,粘結在安裝面上
• 直線光柵尺和讀數頭配套使用