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與掃描掩膜之間有相對運動時，衍
射波面產生相位移：移過一個柵距時將正
一級衍射波面在正方向上偏移一個光波波
長，而負一級衍射光波面在負方向上偏移
一個光波波長。由于這兩束光離開相位光
柵時相互發生干涉，這兩束光彼此相對位
移兩個光波波長。也就是說，相對運動一
個柵距可以得到兩個信號周期。
產品簡介
詳細介紹
HEIDENHAIN直線光柵尺增量測量法介紹
在不理想的情況下，可能需要運動機床 測量范圍的相當大部分。為加快和簡化 “參考點回零"操作，許多海德漢尺帶距 離編碼參考點，這些參考點之間彼此相距 數學算法確定的距離。因此只需運動數毫 米，一旦移過兩個相鄰參考點后，后續電 子電路就能找到參考點位置。距離編碼參考點的光柵尺在型號后 均帶字母“C"（例如LIF 181C）。對于距離編碼參考點，參考點B的位 置用兩個參考點間步距數和以下公式計算：
HEIDENHAIN直線光柵尺光電掃描
海德漢的大多數光柵尺采用光電掃描原理。光電掃描在工作中無接觸，因此無磨 損。光電掃描可以檢測到非常細小的光柵，柵線寬度可僅數微米，并能輸出非常 細小的信號周期信號。 測量基準的柵距越小，光電掃描的衍射現 象越嚴重。
海德漢直線光柵尺采用兩種掃描原理：
1、成像掃描原理用于10µm至200µm的柵距。
2、干涉掃描原理用于柵距4µm甚至更小柵距的光柵。成像掃描原理 簡單地說成像掃描原理是用透射光生成信號：兩個柵距相同或相近的光柵與掃描掩 膜彼此相對運動。
掃描掩膜的基體為透明色，而作為測量基準的光柵材料可為透明 材料也可以為反光材料。當平行光穿過光柵時，以特定的間隔形成 明暗的光影區。在該處設有柵距相同或相近的掃描光柵。當兩個光柵相對運動時， 入射光被調制：在狹縫對齊時，光線通過。
增量測量法的磁柵由周期性柵線組成。通過計算自某點開始的增量數（測量步距 數）獲得位置信息。由于必須用參考 點確定位置值，因此測量基準的光柵尺上 還有一個參考點刻軌。在光柵尺上，由參 考點確定的位置是在一個信號周期分 配的。因此，必須通過掃描參考點建立絕 對基準點或確定上次選擇的原點。
更多產品詳見：HEIDENHAIN光柵尺