海德漢HEIDENHAIN光柵敞開(kāi)式直線光柵尺廣泛用于需要*測(cè)量，是精度的機(jī)器設(shè)備。

典型應(yīng)用包括：

1、半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備

2、PCB電路板組裝機(jī)

3、超精密機(jī)床和設(shè)備，例如加工光學(xué)器件的金剛石刀具，加工磁盤(pán)的端面車(chē)床和 加工鐵氧體元件的磨床。

4、高精度機(jī)床

5、測(cè)量機(jī)和比較儀、測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備

6、直驅(qū)電機(jī) 機(jī)械結(jié)構(gòu) 敞開(kāi)式直線光柵尺包括光柵尺或鋼尺帶和 讀數(shù)頭，光柵尺和讀數(shù)頭間無(wú)機(jī)械接觸。

敞開(kāi)式直線光柵尺的尺帶固定在安裝面 上。因此，為確保直線光柵尺的高精度， 必須確保安裝面平面度達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)。

海德漢HEIDENHAIN光柵結(jié)構(gòu)介紹

1、內(nèi)置軸承角度編碼器

2、光學(xué)掃描的模塊型角度編碼器

3、磁電掃描的模塊型角度編碼器

4、旋轉(zhuǎn)編碼器

5、伺服驅(qū)動(dòng)編碼器

6、直線光柵尺用于NC數(shù)控機(jī)床

7、接口電子電路

8、海德漢數(shù)控系統(tǒng)

選型指南

式光柵尺和輸出位置值的光柵尺 式位置測(cè)量 LIC敞開(kāi)式直線光柵尺為式位置測(cè)量 的光柵尺，大測(cè)量范圍達(dá)28 m并允許高 速運(yùn)動(dòng)。 用在真空環(huán)境中的光柵尺 海德漢的標(biāo)準(zhǔn)光柵尺適用于一般或中等真 空應(yīng)用。如果用于高真空和超高真空環(huán)境 中，光柵尺必須滿足特殊要求。在選擇光 柵尺的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材質(zhì)中，必須特別滿足 這些條件的要求。更多信息，請(qǐng)參見(jiàn)真空 應(yīng)用的直線光柵尺“技術(shù)信息"資料。 LIC 4113V和LIC 4193V直線光柵尺特別適 用于高真空度應(yīng)用。更多信息，請(qǐng)參見(jiàn)相 應(yīng)的“產(chǎn)品信息"資料。

 輸出位置值的增量式光柵尺 LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出 位置值信息。為此，正弦掃描信號(hào)在讀數(shù) 頭內(nèi)被高倍頻地細(xì)分，其計(jì)數(shù)功能將細(xì)分 的信號(hào)轉(zhuǎn)換成位置值。與所有增量式光柵 尺一樣，借助參考點(diǎn)確定原點(diǎn)。

測(cè)量原理 測(cè)量基準(zhǔn) 海德漢公司的光學(xué)掃描光柵尺或編碼器的 測(cè)量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵。這些光柵 刻在玻璃或鋼材基體上。對(duì)于大長(zhǎng)度的光 柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。 海德漢公司用以下特別開(kāi)發(fā)的光刻工藝制 造精密光柵。

METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵 線；典型柵距：20 μm

SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格 柵；*抗污能力；典型柵距：不超過(guò) 8 μm • OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格 柵，超高反光性能；典型柵距：不超過(guò) 2 μm

TITANID相位光柵：超高可靠性的光學(xué) 三維柵線結(jié)構(gòu)和高反光性能；典型柵 距：8 µm 除極小柵距外，由該工藝刻制的光柵擁有 優(yōu)異的邊緣清晰度和均勻性。

結(jié)合光電掃描法，邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào) 的關(guān)鍵。 母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線 機(jī)制造。 測(cè)量法 測(cè)量法是指光柵尺或編碼器在通電時(shí) 立即提供位置值并隨時(shí)供后續(xù)信號(hào)處理電 子電路讀取。

無(wú)需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。位置信息由測(cè)量基準(zhǔn)上的光柵 讀取，它由系列式編碼組成。將單獨(dú) 的增量刻軌信號(hào)進(jìn)行細(xì)分生成位置值，并根據(jù)接口版本，還生成可選的增量信號(hào)。

更多產(chǎn)品詳見(jiàn)：HEIDENHAIN光柵