中圖儀器高精度激光干涉儀測量具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下，還可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

功能廣

· 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

· 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

· 可實現對機床回轉軸的測量與校準；

· 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

· 具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

· 支持手動或自動進行環境補償。

軟件強

· 友好的人機界面；

· 豐富的應用功能模塊；

· 向導式的操作流程；

· 簡潔化的記錄管理；

· 支持中文、英文和俄文界面；

· 支持企業專屬模板定制。

中圖儀器高精度激光干涉儀測量采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時。