SJ6000國產(chǎn)激光干涉測(cè)量?jī)x以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。除了環(huán)境適應(yīng)能力好,還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量,選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測(cè)量振動(dòng)幅度、平面度、線速度、角速度等。
SJ6000國產(chǎn)激光干涉測(cè)量?jī)x除了環(huán)境適應(yīng)能力好,還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量,選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測(cè)量振動(dòng)幅度、平面度、線速度、角速度等。
特點(diǎn)
1.精度高
以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
2.功能廣
可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;
可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測(cè)量;
可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);
可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
3.軟件強(qiáng)
友好的人機(jī)界面;
豐富的應(yīng)用功能模塊;
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簡(jiǎn)潔化的記錄管理;
支持中文、英文和俄文界面;
支持企業(yè)專屬模板定制。
測(cè)量機(jī)床直角
如機(jī)器軸垂直度誤差測(cè)量(數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等),SJ6000國產(chǎn)激光干涉測(cè)量?jī)x垂直度測(cè)量是通過比較直線度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度,即在同一基準(zhǔn)上對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測(cè)量。然后對(duì)兩個(gè)軸的直線度進(jìn)行比較,得出兩個(gè)軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測(cè)量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸,在兩次測(cè)量過程中既不移動(dòng)、也不調(diào)整,光學(xué)直角尺測(cè)量中,允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直,而不動(dòng)直線度反射鏡。
測(cè)量機(jī)床垂直度
典型情況下對(duì)于1.5米長(zhǎng)的機(jī)器軸,像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇,因?yàn)閭鹘y(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn),如直角尺(金屬或大理石等)的長(zhǎng)度一般局限于1米的范圍內(nèi)。
量程精度
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
線性測(cè)量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測(cè)量距離:(0-80)m(無需遠(yuǎn)距離線性附件)
角度測(cè)量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m