SuperViewW1光學(xué)3D輪廓測量儀是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級(jí)測量的檢測儀器。只需要操作者裝好被測工件,在軟件里設(shè)好視場參數(shù),把物鏡調(diào)節(jié)到被測工件表面,選擇自動(dòng)聚焦后,儀器就會(huì)主動(dòng)找干涉條紋開始掃描測量。然后自動(dòng)生成工件表面3D圖像,一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),完成工件表面形貌一鍵測量。
SuperViewW1光學(xué)3D輪廓測量儀可廣泛應(yīng)用于微機(jī)電、為納米材料、光學(xué)加工、超精密加工、3C電子、半導(dǎo)體等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數(shù)的測量和分析。對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、面形輪廓、腐蝕情況、粗糙度、臺(tái)階高度等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
產(chǎn)品功能
1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;
3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
產(chǎn)品特點(diǎn)
參數(shù)測量:粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積,一網(wǎng)打盡;
環(huán)境噪聲檢測:實(shí)時(shí)監(jiān)測,納米波動(dòng),也無可藏匿;
雙重防撞保護(hù):軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,讓“以卵擊石"也能安然無恙;
自動(dòng)拼接:3軸光柵閉環(huán)反饋,讓3D拼接“天衣無縫";
雙重振動(dòng)隔離:氣浮隔振,吸音隔振,任你“地動(dòng)山搖,我自巋然不動(dòng)"。
SuperViewW1光學(xué)3D輪廓測量儀是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級(jí)測量的檢測儀器。只需要操作者裝好被測工件,在軟件里設(shè)好視場參數(shù),把物鏡調(diào)節(jié)到被測工件表面,選擇自動(dòng)聚焦后,儀器就會(huì)主動(dòng)找干涉條紋開始掃描測量。然后自動(dòng)生成工件表面3D圖像,一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),完成工件表面形貌一鍵測量。