激光的發明和應用使干涉測量技術提高了精度，擴大了量程和適用范圍。激光干涉儀有單頻和，其中單頻激光干涉儀因為直流系統具有直流光平和電平零點漂移的弊端，很容易受環境影響，這限制了單頻激光干涉儀的應用范圍。而干涉儀在單頻干涉儀基礎上發展的一種外差式干涉儀，克服了單頻激光干涉儀的弱點，即使是光強大幅度衰減的情況下，仍可得到合適的電信號，并且激光干涉儀量程精度更高。

激光干涉原理

激光干涉儀

除了*的環境適應能力，激光干涉儀還可以進行動態高速測量，選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。中圖儀器研發生產SJ6000激光干涉儀就是激光干涉儀。

產品參數

穩頻方式：激光熱穩頻

測量分辨力：1nm

動態采集頻率：50KHz

預熱時間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：0-95%

主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便

SJ6000激光干涉儀量程精度

穩頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

產品特點

SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體：

采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；

采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；

采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；

采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；

采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

應用領域

SJ6000激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，是高精度、高靈敏度測量儀器，廣泛應用于精密機械設備、精密檢測儀器、三坐標、機器人、3D打印設備、機床、自動化設備、線性位移平臺等領域的線性測量。

測量機床回轉軸精度

測量機床偏擺角度

數控機床精度校準

深圳中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎，致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發、生產和銷售。未來，中圖儀器將繼續專注于精密測量技術的發展，知難而上、勇于創新！