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中圖儀器激光干涉儀sj6000配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。
性能特點
集光、機、電、計算機等技術于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;
采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;
采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術,可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;
采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;
采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/p>
激光干涉儀sj6000具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
線性測量
機床垂直度
在動態(tài)測量軟件配合下,sj6000激光干涉儀還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。
自動化設備精度測量
回轉(zhuǎn)軸精度測量
技術參數(shù)
產(chǎn)品型號:SJ6000
產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式:激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)
角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力:1nm
動態(tài)采集頻率:50KHz
預熱時間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
主要特點:應用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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