前言：等離子清洗技術的應用，起源于20世紀初。隨著高科技產業的快速發展，其應用越來越廣，目前已在眾多高科技領域中，居于關鍵技術的地位，等離子清洗技術對產業經濟和人類文明影響最大，*電子工業，尤其是半導體業與光電工業。

  據知道，太陽能光伏行業對清潔生產技術都非常嚴苛。太陽能極的硅片即使不要求達到電子級，但6個9的純度也是很高的，等離子清洗技術誕生后，在切片等過程中，為清洗硅片上或多或少的污染物，等離子清洗技術已經成為經常使用的方法之一。 等離子技術是一新興的領域，該領域結合等離子物理、等離子化學和氣固相界面的化學反應。

01 等離子清洗技術處理太陽能電池板接線盒

  在太陽能電池板組件TPT背板粘接整流接線盒前采用AP800常壓等離子表面處理機，可使接線盒與背板粘接牢固度大幅提升，保證電池組件在高低溫等惡劣的自然環境下正常工作，延長太陽能電池板使用壽命。

02 等離子清洗技術處理電池硅片邊緣刻蝕

  微波等離子刻蝕機應用在太陽能電池硅片邊緣隔離及背部表面氮化物或PSG（磷硅酸鹽玻璃）去除，微波等離子系統具有RF射頻刻蝕系統不可比擬的高刻蝕速率，另一方面直接微波等離子體技術使電池片溫度保持在很低的水平從而避免產生熱應力。

  等離子清洗已應用于各種電子元件的制造，可以確信，沒有等離子清洗技術，就沒有今日這么發達的電子、資訊和通訊產業。此外，等離子清洗技術也應用在光學工業、機械與航天工業、高分子工業、污染防治工業和量測工業上，而且是產品提升的關鍵技術，比如說光學元件的鍍膜、延長模具或加工工具壽命的抗磨耗層，復合材料的中間層、織布或隱性鏡片的表面處理、微感測器的制造，超微機械的加工技術、人工關節、骨骼或心臟瓣膜的抗摩耗層等皆需等離子技術的進步，才能開發完成。 

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