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日本昭和ssvi直線電動機式主動隔振裝置VAAV-S
使用原始的主動隔振算法進行高速計算，并且不使用空氣的超高速響應線性致動器和超靈敏的速度傳感器立即消除了振動。
由于空氣彈簧僅用于負載支撐，因此，如果壓縮機和電源較小，則使用超靈敏的速度傳感器進行前饋可提供世界上gao水平的隔振性能，該傳感器也安裝在地面側。

日本昭和ssvi直線電動機式主動隔振裝置VAAV-S

使用原始的主動隔振算法進行高速計算，并且不使用空氣的超高速響應線性致動器和超靈敏的速度傳感器立即消除了振動。

由于空氣彈簧僅用于負載支撐，因此，如果壓縮機和電源較小，則使用超靈敏的速度傳感器進行前饋可提供世界上gao水平的隔振性能，該傳感器也安裝在地面側。

此外，與VAAV-L系列一樣，使用了柔軟的空氣彈簧，從而實現了該系列中gao的隔振性能。

日本昭和ssvi直線電動機式主動隔振裝置VAAV-S

• 無共振的振動傳遞特性。
  由于它配備了VAAV系列中柔軟的空氣彈簧，因此具有該系列中gao的隔振性能。
• 由于它是線性電動機控制，因此消耗的空氣更少。（相當于被動隔振表）
• 它特別適用于對振動敏感的精密測量儀器，以及針對低頻振動較大的安裝環境的抗振動措施。
• VAAV系列中gao的性價比。
• 振動波形顯示分析軟件是標準設備。

• 電子顯微鏡可防止高倍率圖像因振動而晃動。該主動隔振臺對于不喜歡被動隔振臺無法消除的低頻振動的顯微鏡有效。
• 它用作對振動特別敏感的設備的振動對策，例如掃描隧道顯微鏡，原子力顯微鏡和光學測量設備。
• 低頻振動大的安裝地面環境的防振措施

模型	可安裝質量（1個單位）	尺寸（1個單位）
VAAV-1000S	500-1700公斤	190（寬）x 190（深）x 178（高）mm

控制器 SEC-03	335（寬）x 410（深）x 130（高）mm
控制自由	3軸6自由度
振動傳遞函數	參見下面的圖1和圖2
所需氣源	0.5MPa以上消耗流量相當于被動
所需功率	AC100V-240V 200VA（單相）
控制方式	速度反饋，地板前饋
大推力	水平：20N垂直：40N注）當用作4個單位/單位時
產生的磁場	0.04μT以下注）距本機150mm處的交流磁場