日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S
實現(xiàn)高測量重復(fù)性（± 0.01 μm 或更小，取決于對象和測量條件）
不易受溫度變化的影響
可以生產(chǎn)用于研究和檢查的離線式和在制造過程中使用的在線式。
反射型允許從薄膜的一側(cè)進(jìn)行測量
僅可測量透明涂膜層（取決于測量條件）

日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S

產(chǎn)品特點

• 實現(xiàn)高測量重復(fù)性（± 0.01 μm 或更小，取決于對象和測量條件）

• 不易受溫度變化的影響

• 可以生產(chǎn)用于研究和檢查的離線式和在制造過程中使用的在線式。

• 反射型允許從薄膜的一側(cè)進(jìn)行測量

• 僅可測量透明涂膜層（取決于測量條件）

• 模型	飛行時間
  測量方法	非接觸式/光譜干涉式
  測量對象	電子和光學(xué)用透明平滑膜、多層膜
  測量原理	光譜干擾型

  日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S

• 產(chǎn)品規(guī)格

  測量厚度	1～50μm（薄材料）、10～150μm（厚材料）
  測量長度	50-5000 毫米
  測量間距	1 毫米 ~
  最小顯示值	0.001微米
  電源電壓	AC100 V 50/60 Hz
  工作溫度限制	5～45℃（測量時溫度變化1℃以內(nèi)）
  濕度	35-80%（無冷凝）
  測量區(qū)域	φ0.6 毫米
  測量間隙	約 30 毫米