露點法是一種古老的濕度測量方法，隨著科學技術的發展，露點技術臻于完善。現代的光電露點儀采用熱電制冷，并且可以自動補償零點和連續跟蹤測量露點。高精度露點儀在一般濕度范圍的測量準確度可達±1℃露點溫度。

　　露點濕度計的原理可以通過一個簡單的實驗來說明。若將一個光潔的金屬表面放到相對濕度低于100%的空氣中并使之冷卻，當溫度降到某一數值時，靠近該表面的相對濕度達到100%，這時將有露在表面上形成。因為在這個溫度下空氣中的水汽達到了飽和，冷表面附著的水膜和空氣中的水份處于動態平衡，也就是說，在單位時間內離開和返回到表面上的水分子數相同，這就是Regnault原理。該原理可以敘述為：當一定體積的濕空氣在恒定的總壓力下被均勻降溫，直到空氣中的水汽達到飽和狀態，該狀態叫做露點；在冷卻的過程中，氣體和水汽兩者的分壓力保持不變。如果空氣的溫度是Ta，露生成的溫度為Td，則濕空氣的相對濕度可以通過下式算出：U=在露點溫度（Td）時的飽和水氣壓/在原來溫度（Ta）時的飽和水氣壓×100%式中飽和水汽壓的數值可以通過查表得到。在0℃以下，水汽達到飽和時，水在鏡面上結冰，此時的溫度又叫做霜點。