對于濕度的檢測人類發明了很多方法，根據工作原理的不同進行分類，一般有：

　　1）伸縮式

　　這是使用歷史較久的傳感器，如早出現的毛發濕度計。主要是根據測定材料的在不同濕度時伸縮不同進行濕度測量，材料選用毛發、尼龍絲等。由于毛發、尼龍絲濕度敏感元件的反應速度慢，相對濕度與輸出位移量的變化不成線性關系，使用的時間長久之后，易塑性變形和老化，但這種敏感元件因具有構造簡單，工作可靠，價廉和不需要經常維護等優點，雖然精度不高(一般為±15%)，但能滿足舒適性空調等一般要求。

　　2）蒸發式

　　也稱為干濕球濕度計，利用當大氣壓力和風速不變時，水分蒸發時須向外界吸收熱能這一效應研制而成。方法是采用兩個相同的溫度傳感器分別放于被測濕度場和飽和濕度場中，當空氣中的相對濕度發生變化時，兩個溫度傳感器就會出現差值，從而測定空氣中的相對濕度。

　　可靠、簡單，便于維護，無需校準，容易判斷是否故障，僅有兩種典型失效情況：濕球紗布需要更換或者供水失效。濕球紗布更換的成本低廉。

　　3）露點式

　　當一固體冷卻至足以使周圍水蒸氣凝固時，固體上面開始結露。測出此物體表面的溫度，即露點溫度。獲得此量后，再加上溫度和氣壓，就可以換算為任何需要的濕度表示。

　　4）電子式

　　利用材料的電特性與空氣中濕度變化呈現一定的關系確定氣體濕度。主要有：①電阻式，利用吸濕性能較好的物質吸附水汽后電阻發生變化而制得，但由于電阻受溫度影響較大，固有的溫度系數使其不能工作在很寬的溫度范圍內。②電容式，利用感濕材料吸水后介電常數發生變化而改變電容值。它與電阻型濕度計相比有顯著的優勢：靈敏度高，功耗低，溫漂小，其優良的性能受到了科學家們的普遍關注。由于易于與COMS工藝相結合，便于實現小型化、集成化，因此現在市面上出售的濕度計絕大部分都是電容型的。