晶圓接觸角測量儀是怎么工作的?
晶圓接觸角測量儀是為晶圓表面加工質量檢測而設計的光學接觸角測試儀,提供晶圓表面接觸角和表面能分析,以評估附著力、清潔度和涂層。
晶圓接觸角測量儀采用CCD數字攝像機,配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統,搭配三維樣品臺,可進行工作臺上下、前后等方向移動。實現微量進樣及上下、左右精密移動。同時還設計了伸縮桿結構工作臺,能適應在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據式樣的大小適量調節,擴大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能,測試多次后的結果可以同時保存在同一報告下,能讓用戶更好的對材料數據進行管控。
晶圓接觸角測量儀用于測量液體對固體的浸潤性,通過測量液體對固體的接觸角,計算固體的表面自由能及液體的表面張力等指標,該儀器可自動測值和人工修整相結合,按測試→自動拍照→查找敏感點→計算接觸角值→顯示計算結果,整個過程無須人工干預,以降低人為因素影響。可廣泛用于測試各種液體對各種固體材料的接觸角,即通過測量液體與固體間所形成接觸角的大小,判斷液體對固體的浸潤性;也可測量和計算表面/界面張力、CMC、液滴形狀尺寸、表面自由能等。