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在廢水的深度處理中，臭氧可以用來去除COD和BOD，破壞有害化學物質。臭氧及其產生的活性OH自由基破壞廢水中發色團的不飽和鍵，生成小分子酸和醛以及低分子量有機物，提高沉淀效果，有效控制有機微生物，使循環水中COD得到有效降解。
臭氧的滅菌作用來自它強大的氧化能力。臭氧具有非常強的氧化性，它能破壞分解細菌的細胞壁，并迅速向細胞內擴散，將細菌內必須的葡萄糖氧化酶等氧化分解為葡萄糖，也可直接與細菌、病毒等發生作用，使細胞分解蛋白質、大分子聚合物如脂類等，使細菌的新陳代謝和繁殖過程受到破壞。
和創智云HMS自來水消毒臭氧發生器設備選型：
*臭氧放電管技術：采用石英玻璃放電體，無需維放電管，冷卻效率更高；具有低能耗產生高濃度臭氧的優點。材質不活潑，不受酸性物質的侵蝕，結構緊湊，占用空間小。
*臭氧電源：采用特別的脈沖密度調節方案，通過諧振變壓器將500V交流脈沖電壓直接提升為數萬伏放電脈沖，產量調節范圍通過控制高壓放電頻率，可實現10%-99%調節，降低客戶使用成本，消除了交流電抗、產品一致性差、高熱、噪聲大等給負載諧振參數匹配帶來的困難。
*干臭氧變壓器：適合臭氧發生器的負載特性；采用特殊材料及纏繞工藝，保證輸出功率及工作溫度；采用巧用參數匹配設計，使臭氧發生器處于共振狀態，降低了系統功耗。
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