水消毒處理用臭氧發生器技術設備所產生的臭氧本身就是一種物質，離我們的日常生活并不遠，地球上有臭氧層，近年來，臭氧層被破壞，有報道稱皮膚癌的發病率有所上升。有人說這是因為氟化物和氯化物作為制冷劑到達平流層，在臭氧層受到太陽紫外線的照射，導致臭氧減少，從而形成臭氧空洞。此外，由于北緯40度附近的大氣環流，一條通道從平流層吹下來。夏季雷擊后或炎熱的海岸線上會出現臭氧，氣味很重。雖然有人認為是地面各種有機物反應造成的，但地面上到處都找不到臭氧反應產物積累的痕跡。說明反應中有副產物，自然分解過程中分解消失。

19世紀中期，臭氧在國外被使用。20世紀70年代以后，臭氧在發達國家的應用達到了廣泛、深入和*的水平。臭氧在中國的應用起步較晚，80年代以后才開始在中國應用。而且臭氧設備的開發生產技術相對落后，臭氧必須在13000-1800V的高壓下直接電離。如今臭氧消毒應用廣泛，國內很多科研院所和企業都開發了。目前，利用*電真空技術和電子特殊條件下的雪崩放電生產的臭氧管已經批量生產。使用這種技術的臭氧管，通過3000V活化空氣，可以產生大量的臭氧；對環境沒有特殊要求，不需要空氣除塵、除濕等復雜的預處理。

空氣中的氮（NZ）在產生水消毒處理用臭氧發生器技術設備的同時沒有被活化，因此不會產生含氮化合物等有毒物質，并且由于手術室大，臭氧的應用范圍大大擴大。目前，國內應用臭氧消毒滅菌的企業主要是醫藥行業，如潔凈車間、保健行業、手外科設備、食品工業與環境、服裝材料、包裝材料等。而且，臭氧消毒在水（醫療用水、自來水、礦泉水、啤酒、飲料等）末端消毒中都有所應用，可以增加水中的含氧量，改善口感。