水消毒處理用臭氧發生器設備通常指混合氣體中臭氧的濃度，一般用質量比和體積比表示。質量比是指單位體積臭氧中含有的混合氣體的質量含量，通常表示為毫克/升、毫克/立方米或克/立方米。容積率是指單位體積內臭氧的容積率，表示為2%、5%、12%等。衛生行業通常用ppm來表示臭氧濃度，即每立方臭氧混合物中的臭氧含量占體積的百萬分之一到百萬分之一。臭氧氣體濃度是臭氧發生器的重要技術指標。同等條件下，臭氧的輸出濃度越高，其質量越高。

在購買臭氧發生器時，我們必須首先確定它的用途，它用于消毒和除臭，也用于水處理。空氣處理可選用低濃度經濟型開放式臭氧發生器，其中有氣源的開放式和無氣源的開放式是較好的選擇。這種臭氧發生器結構簡單，成本低，但工作溫度和濕度對臭氧的產生有一定的影響。以上開放式臭氧發生器均為簡易臭氧發生器，要求高的地方應選用高濃度臭氧發生器。空調按20~50mg/m³的標準進行選擇，食品、醫藥行業選擇較高的。臭氧總量（即臭氧發生器的輸出）可以通過轉換根部工具空間的大小來計算。水處理時必須選用高濃度臭氧發生器（臭氧濃度超過12mg/L），低濃度臭氧對水處理沒有影響。高濃度臭氧發生器的標準配置包括空氣源、空氣源處理裝置和臭氧發生器。

水消毒處理用臭氧發生器設備產生的臭氧本身就是一種物質，離我們的日常生活并不遠，地球上有臭氧層。近年來，臭氧層被破壞，有報道稱皮膚癌的發病率有所上升。有人說這是因為氟化物和氯化物作為制冷劑到達平流層，在臭氧層受到太陽紫外線的照射，導致臭氧減少，從而形成臭氧空洞。此外，由于大氣在北緯40度左右循環，一條通道從平流層吹下來。夏季雷擊后或炎熱的海岸線上會出現臭氧，氣味很重。雖然有人認為是地面各種有機物反應造成的，但地面上到處都找不到臭氧反應產物積累的痕跡。說明反應中有副產物，自然分解過程中分解消失。