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產品簡介
CKD高溫?高耐久氣控閥符合微細化發展的需求，具備高耐久性的工藝氣體用閥。
按照客戶需求備有3種類型。
化學液體供給設備用元件
化學氣體供給設備用元件
半導體制造工序（前工序）
氮氣清洗關聯元件
按照客戶需求備有3種類型。
化學液體供給設備用元件
化學氣體供給設備用元件
半導體制造工序（前工序）
氮氣清洗關聯元件
詳細介紹
CKD高溫?高耐久氣控閥應用：
【90°旋轉快動】
只需輕輕轉動手柄即可關閉閥。
可通過手柄方向及上面指示器確認閥的開閉狀態。
支持面板安裝（選擇項）。
【內部密封性能大幅提升】
采用活塞桿不旋轉的機構實現穩定性。
采用彈簧密封實現穩定性。
通過密封結構和表面精度的提高，減少顆粒的產生。
【AGD-HD系列】
耐久性：保證1000萬次（實測值：3000萬次）
適用于集成化供氣系統（1.5inch, 1.125inch）
可適用于單體閥
【AGD-HDF系列】
耐久性：保證1000萬次（實測值：3000萬次）
適用于高溫：～200℃
適用于集成化供氣系統（1.5inch, 1.125inch）
可適用于單體閥
裝配響應穩定執行器
【AGD21R-A系列】
耐久性：保證3000萬次（實測值：1億次）
流體溫度：適用于150～200℃
適用于集成化供氣系統（1.5inch）
裝配響應穩定執行器
高Cv值：0.4以上
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CKD高溫?高耐久氣控閥型號 ：
| 型號 | 名稱 | 流體溫度 | 實測值 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| AGD※※R-HD | 高耐久氣控閥 | 5～80℃ | 3000萬次以上 | |
| AGD※※R-HDF | 高溫, 高耐久閥 | 20～200℃ | 3000萬次以上 | |
| AGD21R-A | 高溫, 高耐久閥 | 150～200℃ | 1億次以上 |
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