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產品簡介
parker超高純束縛膜片減壓閥SMSQ2Micro 減壓閥用于狹小空間需要壓力控制的UHP超高純使用點應用。提供的可靠性和泄露完整性，使其成為關鍵的半導體操作的理想選擇。
詳細介紹
parker超高純束縛膜片減壓閥產品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場上先進的微型超高純減壓閥。產品提供精密且穩定的壓力控制，提高了MFC（質量流量控制器）的性能，這對半導體生產的重復性和產量至關重要。產品同樣表現出優異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對半導體應用中至關重要的的過程污染.
減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數流量需求變化提高出色響應。產品采用自動定心束縛膜片設計，提供穩定閥座密封和壓力調節。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進一步提高工藝清潔度和吹掃性能.
SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內部電解拋光 Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克公司的UHP超高純級不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22®。這些材料與SMSQ2Micro系列設計特點相結合，使SMSQ2Micro系列具有強耐腐蝕性和更高循環壽命，入口壓力高達250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規范.
SMSQ2Micro系列減壓閥的內部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，使用質譜儀以獲得在苛刻超高純應用中的性能和穩定性.
市場:
• 半導體
• 分析試驗室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業
特點和優勢:
• 有C 和 W密封貼面安裝1-1/8
parker超高純束縛膜片減壓閥性能特點
閥體材料
潔凈316L不銹鋼
壓縮構件材料
潔凈316L不銹鋼
隔膜材料
哈氏合金 C-22
閥芯材料
哈氏合金 C-22
閥座材料
PCTFE
帽材料
銅鍍鎳
螺母材料
不銹鋼
旋鈕材料
ABS (藍) (SMSQ2Micro)
ABS (黑) (SMSQ2Micro130E)
爆破壓力
750 psig (52 barg)
可承受壓力
375 psig (26 barg)
流速
Cv: 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)
內部泄漏率
< 5 x 10-8 cc/sec He
外部泄漏率
< 2 x 10-10 cc/sec He
體積
0.08 cm3
重量
0.9 lb
0.42 kg
表面處理
5微英寸粗糙度
大入口額定壓力
250 psig / 17 barg
出口額定壓力
-10 psig - 60 psig (260 torr - 4.1 barg)
高運行溫度
66 °C
150 °F
低運行溫度
-40 °C
-40 °F
更多產品詳見：parker膜片減壓閥