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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 醫療衛生,食品,化工,建材,制藥 |
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高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm
低溫等離子·經典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
產品簡介
詳細介紹
·日本雅馬拓PR500/510等離子灰化機
高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm
低溫等離子·經典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
日本雅馬拓PR500/510等離子灰化機用途
·去除光刻膠
·部品清洗
·界面活性處理
·微研磨
·硅晶圓，玻璃基板對應
日本雅馬拓PR500/510等離子灰化機特征
·大口徑（Φ215mm）石英反應腔
·小型一體化設計
·操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
日本雅馬拓PR500/510等離子灰化機?規格