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平面度測量儀器資料

閱讀:1017          發布時間:2016-12-12
提 供 商 德瑞華測量技術(蘇州)有限公司 資料大小 2.2MB
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德國LAMTECH平面度測量機,采用掠入射光干涉原理,專注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應用于半導體行業(Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、閥門密封件表面(Sealing surfaces),以及光學工程,激光工程等領域。

 

產品特點:
非接觸式平面度測量接觸
高精密評估: <0.4µm
測量速度快: <3秒
可用于車間現場, 100%全檢
平面度評估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
三維形貌評估軟件, 可支持CNC編程批量檢測
表面自動識別系統, 或手動區域(圓, 圓環, 矩形區域)評估
數據采集量大, 一次完成對300,000點的評估
快速生成報告并保存為.csv數據格式, 支持Q-das等統計分析軟件
廣泛應用于拋光, 研磨或細磨精密表面, 像閥門盤, 密封環等

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