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詳細介紹
密析爾Pura高純氣露點變送器供應
在很多超純氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的個適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。
亮點
- 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
- 測量穩定，重復性好
- 高度集成的采樣裝置
- 模擬和數字輸出
- 安裝簡便
- VCR 過程接口
- 設計緊湊小巧
- 顯示/報警單元可選
密析爾Pura高純氣露點變送器供應
| 傳感器 | |
| 傳感器類型 | 密析爾陶瓷濕度傳感器 |
| 量程 | -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C) |
| 精度 | ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) |
| 分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C |
| 壓力 | 低 10-9 torr; 最大 24 MPa |
| 氣體流量 | 1 ~ 5 Nl/min |
| 電氣 | |
| 電源 | 通常 24 V DC, 低10 V ~ 最高28 V , 最大電流 25 mA |
| 輸出 | 4-20 mA 輸出, 對應范圍可由專用軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供) 最大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8) |
| 輸出出錯狀態 | 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 |
| 機械性能 | |
| 傳感器套筒 | 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內拋 |
| 氣路連接端口 | Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 |
| 安裝配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙 底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中 |
| 尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm |
| 重量 | Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g |
| 包裝 | Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨立包裝運輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作 |
在氣體和液體中，測量露點、水分含量和微水含量一系列密析爾探頭。范圍從極干的環境下 (-120°Cdp) 到高濕度環境下測量，露點最高達到+60°C，我們的探頭可在多種領域中應用，進行可靠的測量。我們的本安型和隔爆/防火型傳感器適用于全球多種危險場合。
密析爾儀表在設計、制造，校驗濕度傳感器方面有超過40年的經驗，擁有一系列的技術。我們不斷投資研究項目，以便提高我們濕度傳感器的技術。其中包括一系列廣泛使用，經過現場驗證的露點傳感器。
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