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微型探針臺主要應用于傳感器 半導體探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
該探針臺的承載臺為26X26mm不銹鋼臺面,臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環境下精密移位調節,其中X方向調節范圍:0-13mm,y方向調節范圍:0-13mm;z方向調節范圍:0-13mm;用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測
三:主要技術要求微型探針臺主要應用于傳感器 半導體
1. 類型:高溫型:室溫~350℃ 低溫型 -190℃:350℃ 低溫型:室溫到-190℃
2. 腔體材質:304不銹鋼
3. 腔體內尺寸:φ90x40mm
4. 腔體上視窗尺寸:Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm)
5. 腔體抽氣口:KF16
6. 腔體進氣口:公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
7. 腔體出氣口:公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
8. 腔體正壓:≤0.05MPa
9. 腔體真空度:機械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘)
10. 樣品臺材質:304不銹鋼
11. 樣品臺尺寸:26X26mm
12. 樣品臺-視窗 距離:30mm(可選凹視窗間距15mm)
13. 樣品臺測溫傳感器:*級PT100鉑電阻
14. 樣品臺溫度:室溫到350℃(可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃)
15. 樣品臺測溫誤差:±0.2℃
16. 樣品臺變溫速率:高溫10℃/min 低溫5℃/min 最大值
17. 溫度顯示:7寸人機界面
18. 溫控類型:標準PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫)
19. 溫度分辨率:0.1℃
20. 溫控精度:±0.5℃
21. 溫度信號輸入類型:PT100熱電阻 (可選 K S B型熱電偶)
22. 溫控輸出:直流線性電源加熱(液氮流量線性控制液氮制冷)
23. 輔助功能:溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線
24. 電信號接頭:配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
25. 電學性能:絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
26. 探針數量:4探針(可定做6探針)
27. 探針材質:鍍金鎢針
28. 探針尖:10μm
29. X軸移動行程:12mm ±6mm
30. X軸控制精度:≤5μm
31. Y軸移動行程:12mm ±6mm
32. Y軸控制精度:≤5μm
33. Z軸移動行程:12mm ±6mm
34. Z軸控制精度:≤5μm
35. 顯微鏡類別:物鏡放大+電子放大
36. 顯微鏡放大倍數:100倍
37. 顯微鏡工作間距:50-150mm
38. 相機分辨率:1080P 60幀
39. 相機信號輸出:HDMI輸出+USB輸出
40. LED可調光源:LED光源
41. 顯示屏:5寸 屏幕一體機
四:主要配置要求
1.1臺 · KT-0904T-RL微型探針臺一臺
2.1臺 · 觸摸屏溫控箱
3. 1個· 6mm聚四氟管
4. 1根 電源線
5: 2個 6mm金屬內襯
6: 1根 觸摸屏筆
7: 4個 SMA-香蕉插頭
8: 1根 功率輸出線
9: 6米 6mm水冷管
10: 1套 K型上蓋扳手、備用螺絲,內六角
選配: 分子泵真空機組 機械泵