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高真空大型探針臺，采用304不銹鋼腔體，樣品臺溫度-196℃到400℃，觀察窗尺寸直徑70mm，
預算及產(chǎn)品品質(zhì)一直是困擾用戶的兩個難題。鄭科探推出的KT-Z160T-RL大型探針臺具有探針臂精度小于0.01mm，探針尖10μm，配有電子顯微鏡放大倍數(shù)19-135倍。20升液氮可連續(xù)使用30個小時。價格相對合理。
因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。
高真空大型探針臺
真空腔體 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側開 |
加熱臺材質(zhì) | 304不銹鋼 |
內(nèi)腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺間距 | 75mm |
加熱臺溫度 | ﹣196~350℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭 | SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
探針數(shù)量 | 4探針 |
探針材質(zhì) | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數(shù) | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機 | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調(diào)光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數(shù) | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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