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精密氣浮臺高低溫真空探針臺
隔振平臺由鋼質(zhì)蜂巢內(nèi)核、頂板及底板組成,在降低重量的前提下提供了足夠的硬度。光學(xué)隔振平臺頂板為高導(dǎo)磁性不銹鋼材料,底板為碳鋼板,四周側(cè)板內(nèi)層為碳鋼板外層為黑色鋁塑板
適用于光通訊,電子制造,醫(yī)療器械,科研院校,顯微鏡,光路測試,光學(xué)測量,激光干涉,激光掃描,光譜實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域運(yùn)用(對磁場較高要求,百級*間均可滿足使用要求)
精密氣浮臺高低溫真空探針臺
真空腔體 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側(cè)開 |
加熱臺材質(zhì) | 304不銹鋼 |
內(nèi)腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺間距 | 75mm |
加熱臺溫度 | ﹣196~350℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭 | SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
探針數(shù)量 | 4探針 |
探針材質(zhì) | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數(shù) | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機(jī) | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調(diào)光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數(shù) | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)