目錄:鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>材料樣品處理>>小型蒸鍍儀>> KT-Z1650CVD真空小型蒸鍍儀
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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真空小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD
? 設(shè)備一體化設(shè)計,占地面積小,*,性能穩(wěn)定,使用維護成本低;
? 設(shè)備兼容有機蒸發(fā)與無機蒸發(fā),多元共蒸獲得復(fù)合膜/分蒸獲得多層膜,功能強大,性能穩(wěn)定;
? 適用于實驗室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、有機膜,也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗等;
? 適用于蒸發(fā)鍍膜與手套箱環(huán)境有機融合,實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝無縫對接,廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池/OPV有機太陽能電池及OLED薄膜等研究系統(tǒng)等
以下是不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜 115A 100秒 機械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色
真空小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
加熱方式 | 數(shù)字式功率調(diào)整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 (最大可安裝φ50基底) |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 | 70-140mm |
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) | ≤1800℃ |
支持蒸發(fā)坩堝類型 | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配擴展 | 機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa) |
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