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| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子 |
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高純度金顆粒蒸鍍儀
采用電子束蒸鍍金膜時,會有微小的黑色顆粒出現在金膜的表面,這些黑色的顆粒形狀大多不規則,尺寸集中在100 nm～-1μm之間,傳統的蒸鍍理論較難解釋這些黑色顆粒的成因。本文嘗試提出液態金屬表面熱發射電子引起液面上雜質顆粒"放電"的理論來解釋這一現象。這類電暈放電造成顆粒附近溫度*,瞬間將顆粒蒸發沉積在襯底。通過改變蒸鍍功率,或保持功率不變,改變電子束斑點形狀、落點位置等一系列實驗,驗證了理論的合理性。
分別用鎢坩堝和玻璃碳涂層坩堝蒸鍍金膜,采用EDS分析金膜表面黑色顆粒的主要成分.對比金膜表面黑色顆粒分布的密度;根據兩種坩堝蒸金膜時的物理學特征不同,研究黑色顆粒產生的機理,解釋碳玻璃涂層坩堝蒸金黑色顆粒較多的原因;并利用玻璃碳坩堝采取不同的工藝條件進行對比試驗,成功減少了金膜表面的黑色顆粒,為教學實驗、真空鍍膜工藝和集成電路生產領域蒸鍍高質量的金膜提供幫助.
-熱蒸發源：電阻式熱蒸發舟，交流電源、坩堝蒸發；
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腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；
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泵：前級干泵，分子泵；
- Load Lock
樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
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工藝控制：PC/PLC機制的自動控制、數據處理、工藝記憶儲存；
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襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉等；
- 保護樣品：配有樣品擋板，可手動或自動開/關擋板，達到及時遮擋樣品效果；
高純度金顆粒蒸鍍儀KT-Z1650CVD技術資料
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
加熱方式 | 數字式功率調整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （最大可安裝φ50基底） |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品蒸發源調節距離 | 70-140mm |
蒸發溫度調節 | ≤1800℃ |
支持蒸發坩堝類型 | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配擴展 | 機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
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