目錄:鄭州科探儀器設備有限公司>>材料樣品處理>>等離子清洗機>> 等離子設備清洗機系統
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電子 |
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供電電源 | AC220V（AC110V可選) |
工作電流 | 整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | ＜0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆，手動匹配 |
耦合方式 | 感應耦合式（線圈耦合） |
真空度 | ≤100Pa |
腔體材質 | 高純石英 |
腔體容積 | 2L(內徑110MMX深度220MM) |
觀察窗內徑 | Φ70 |
氣體流量 | 10—600ml/min（其他量程可選） |
過程控制 | 過程手動控制 |
清洗時間 | 手動開關 |
開蓋方式 | 鉸鏈側開式法蘭 |
外形尺寸 | 400x380x360mm |
重量 | 23Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強制風冷 |
標配 | KF16波紋管1米，kf16卡箍2個，電源線一根，說明書一本。 |
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