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      真空手動腔體電學測試探針臺主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為50x50mm，臺面可升溫到350℃。

    真空手動腔體電學測試探針臺腔體設計有進氣口和抽真空接口和2-4芯信號真空電極，做多可選用6芯電極。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，需自行將引入腔體的信號線連接到測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電子信號。

(1)硬件測試電路的設計:該部分主要為芯片的測試提供驅動電壓和時序激勵,同時完成像元響應電壓信號的采集與處理,同時在數據采集部分設計有單端轉差分網絡,消除共模噪聲的同時還可以增強模擬電壓信號的驅動能力。

(2)真空腔體電學測試探針臺探針卡的設計:對于不同陣列的探測器芯片,本文中設計有與之相對應的測試探針卡,同時將偏置電壓的產生電路直接集成于測試探針卡上,偏置電壓可通過探針直接偏置到芯片上,避免模擬信號傳輸過程中受到的干擾。

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