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談?wù)劙坠飧缮鎯x與激光干涉儀的區(qū)分
閱讀：2238 發(fā)布時(shí)間：2021-8-6
白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。
白光干涉儀是用來(lái)測(cè)量三維微觀形貌的，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、軍工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
對(duì)于激光干涉儀，我們根據(jù)其原理可以清楚知道它是用來(lái)檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)精度的，激光干涉儀目前在機(jī)床、直線電機(jī)、滑臺(tái)、模組、自動(dòng)化設(shè)備、機(jī)器人等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
激光干涉儀測(cè)量利用邁克爾遜干涉原理：
1.從激光干涉儀主機(jī)出射的激光束（圓偏振光）通過(guò)分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；
2.兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過(guò)分光鏡后進(jìn)行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；
3.角錐反射鏡B每移動(dòng)半個(gè)激光波長(zhǎng)的距離，將會(huì)產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測(cè)量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長(zhǎng)。