SF6回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時，利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，并壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。這樣連續抽吸至SF6壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。在充放時，首先利用本裝置的真空泵對SF6電器設備（或鋼瓶）和連接管路進行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內的SF6充入SF6電器設備，直至達到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。

SF6回收裝置主要組成部件優特點
1. 采用德國DILO公司系統原理，設計良好，功能齊全，結構合理，操作簡潔明了。
2. 壓縮系統引進國外壓縮技術的雙級單動壓縮機，該壓縮機可將SF6氣體直接壓縮成液態貯存SF6貯罐內，(或采用輔助制冷壓縮貯存)，實現了SF6氣體的無油快速回收。
3. 抽真空系統采用雙級旋片式真空泵，真空速率快，并在系統中設有防止返回油裝置。
4. 回收增壓系統采用單級旋片泵（隔膜泵）回收殘壓低，速度快。
5. 凈化系統采用美國派尼爾公司原理過濾器，過濾器增加采用內置真空電加熱及內裝高效吸附劑，凈化效果更加顯著（無須頻繁更換吸附劑）。
6. 裝置電氣系統三相電源自動確認、調整。
7. 裝置控制系統采用新技術的SF6閥門，比國外同類產品球閥更可靠。
8. 貯存系統可按用戶需求任意配備各種規格容量的貯液罐。
9. 設備采用風冷移動式，可在無外部水源情況下使用。