首頁 >> 供求商機
ALD原子層沉積系統
標準型（Standard ）設備
廉價、高質量、可任選附件
結構簡單，操作和維護容易
多用途
擴展型（Flexivol）設備
腔室體積可根據用戶樣品的尺寸靈活調節，同一腔室可通過簡單的調節適用于不同厚度的樣品
增多前驅體源入口數目，避免腔室體積增大對前驅體化學源氣氛分布的影響
高度定制化（Non-Standard）設備
為工業客戶提供薄膜沉積方案
放大基于標準研究型設備檢驗的相同技術
根據客戶的特殊需求，加工定制，滿足特殊應用及大規模的生產需要
研發（R&D）服務
開發新的薄膜沉積方案
診斷、改進現有ALD的工藝
為潛在的客戶做覆膜演示
薄膜沉積工藝咨詢
技術參數
不銹鋼材質腔室，根據客戶樣品尺寸有不同的腔室直徑（D < 200 mm, D = 200 mm, D > 200 mm）和高度（H = 20 mm, H = 50 mm）可選；前驅體進樣系統標配四路（包含冷和熱兩種前軀體），可配至八路
前驅體進樣系統配有快速氣動閥門
多段溫度控制
前驅體溫控0-200 °C，精度1 °C
腔室溫控0-300 °C ，精度1 °C
進出腔室管路溫控0-150 °C ，精度1 °C
基本壓強 10^−1/10^−3 mbar
設備尺寸 1000x600x1000 mm
觸控控制系統
系統當前狀態信息顯示：氣流速度、溫度、壓力和閥門開度等
工藝監控：溫度和壓力等
偏差報警和安全鎖
菜單操作，實時監控
可增配選項
等離子體發生器 借助等離子化的氣態原子替代水作為氧化物來增強ALD性能
臭氧發生器 提供強氧化劑，增大ALD生長的前驅體選擇范圍
石英晶體微天平 在線監測薄膜沉積的厚度
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