掃描電子顯微鏡 AeroSurf 15特色

• 含水樣品也無需前處理即可在大氣壓下進行SEM觀察
• 從低真空到大氣壓（數 Pa～105 Pa），可在大范圍壓力下進行SEM觀察
• 標準搭載ES-Corrector（電子束散射校正）圖像改善功能
• 在真空模式下，除了通常的SEM觀察之外，還可進行EDX分析（選配）
• 主機采用330 mm寬度的小型設計，實現節省空間和高便利性
• 無需等待抽真空時間，快速實現從搭載樣品到觀察圖像的全過程
• 概要

大氣壓觀察（圖1）

• 樣品設置在標準大氣壓環境下（105 Pa）
• 配置樣品的大氣壓倉室與SEM內部由隔膜分離，在保持SEM內部真空的同時，可對樣品進行電子束照射觀察
• 而且，可通過附帶的真空泵在負壓下（約103～105 Pa）進行觀察

低真空觀察（圖2）

• 隔膜可拆卸，還可進行低真空SEM觀察和EDX分析
• 搭載了日立臺式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導體背散射電子檢測器

圖1：大氣壓或負壓觀察時

圖2：低真空觀察時

掃描電子顯微鏡 AeroSurf 15規格

應用實例
材料領域

含水再生纖維素纖維的干燥動態觀察

樣品提供：旭化成株式會社 乙部先生

將浸水的纖維先在40 kPa下緩慢自然蒸發多余水分，然后在大氣壓下進行了觀察。
首先觀察到纖維之間的水分蒸發，然后是纖維內部的水分蒸發，并因此纖維本身收縮，后是整個樣品收縮的情景。
根據此觀察的結果以及纖維干燥時和含水時的直徑測試結果，得出含水時膨脹30%，和含水時的纖維膨脹率。

ZEPTORON PP（聚丙烯納米纖維）的經時觀察

試樣提供：Zepto Co., Ltd.

在疏水性優異的此樣品中，可看到油滲入纖維內，水分不會滲入，所以可觀察到水分在纖維上的情景。

植物領域

花粉

光學顯微鏡觀察后，無需干燥處理即可在大氣壓下進行SEM觀察。

杜鵑花花粉

食品領域

味噌（自家制）

干燥的意大利面

在大氣壓下觀察干燥的意大利面的表面后，在真空中觀察同一樣品，可觀察到表面有大量裂紋。
推測是在真空環境下，樣品內部的水分和空氣蒸發時將試樣表面破壞，即使是干燥的樣品，如果想觀察本來的形狀，通過大氣壓SEM進行觀察是一種有效的方法。

生物領域

大腸桿菌

大腸桿菌經過培養后，用純水稀釋，涂抹在塑料板上，用甲醇固定后進行了觀察（無染色）。