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操作使用萊寶分子泵機(jī)組是有要求的，千萬(wàn)別忘了
閱讀：1606 發(fā)布時(shí)間：2020-12-21
萊寶分子泵機(jī)組是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱，是一種非常常見(jiàn)的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。其內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動(dòng)的軸承承擔(dān)了很大的負(fù)荷，正確的使用和及時(shí)的保養(yǎng)，對(duì)軸承乃至整個(gè)分子泵的正常工作意義重大。
操作要求：
1.分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏；
2.不能在大氣中打開(kāi)，必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開(kāi)。打開(kāi)相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵；
3.當(dāng)M2或M7的真空度始終沒(méi)有到位時(shí)，請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作；
4.打開(kāi)萊寶分子泵機(jī)組之前，必須先打開(kāi)冷卻水閥。葉輪停止后，必須關(guān)閉冷卻水閥；
5.每次停機(jī)后，必須清洗每個(gè)分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞；
6.當(dāng)出現(xiàn)警告信息“EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)槍進(jìn)行檢查。在再次打開(kāi)之前，請(qǐng)確保水路暢通。當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。
7.當(dāng)分子泵出現(xiàn)故障無(wú)法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動(dòng)充滿空氣后更換備用分子泵；
8.當(dāng)分子泵未啟動(dòng)時(shí)，檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作；
9.當(dāng)萊寶分子泵機(jī)組發(fā)生故障時(shí)，必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。