詳細介紹
日立肖特基場發射掃描電鏡SU8700
FE-SEM獲得的圖像分辨率高,信息豐富,樣品處理相對簡單,并且它可以觀察、測量并分析樣品的細微結構,因此被廣泛應用于納米技術、半導體、電子器件、生命科學、材料等領域。近年來,以Materials Integration為代表,其應用領域及用途在不斷擴展,短時間內獲取數據,減輕作業負荷成為市場的一大需求。為滿足這一需求,此次特推出的SU8700作為一款面向新時代的SEM,在日立電鏡貫有的高圖像質量和高穩定性的基礎上,增加了包括自動獲取數據等高通量的功能。
SU8700可配置各種分析附件,適用于從低加速觀察到高束流的EBSD分析,支持陶瓷、金屬等不同材料的解析。該系列產品的特點如下:
1.支持自動獲取數據
此外,為一次性獲取信息,單次掃描像素擴展到了40,960 x 30,720(選配),是之前型號的64倍。利用這一功能,可憑借一張數據圖像有效評估多處局部的細微結構。
在FE-SEM的觀察和分析中,需要根據測量樣品與需求調整觀察條件。調整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度,這是造成數據質量與效率差異的因素之一。此系列產品標配自動調整功能,可避免人為操作導致的差異。
2.增加獲取信息的種類與數量
通過SEM能夠收集到多種信號,且此系列產品多可以同時顯示和存儲6個檢測器的信號。在減少圖像獲取次數的同時能夠獲取多種信息。
此外,隨著儀器性能的提升,需要獲取的數據種類與數量也在增加,手動獲取各種數據會大大增加用戶的作業負擔。此系列產品可選配“EM Flow Creator",用戶可根據自身需求設定條件,自動獲取數據,這對于未來通過獲取數據實現數據驅動開發起到重要作用。
3.增強信號檢測能力
SU8700的樣品倉設計巧妙,可使用短工作距離進行EDS分析,通過提高EDS分析的空間分辨率,能夠實現更微小部位的分析。