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等離子體是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態,并不屬于常見的固、液、氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。VPC100M真空等離子清洗機就是利用等離子體的活性組分的性質來處理塑膠工件,金屬基工件,陶瓷、玻璃等工件表面,從而實現清潔、改性等目的。
工作原理:
等離子清洗機通過在高真空環境中形成等離子體,利用離子轟擊的方式清潔工件表面。在真空環境中,通過加入工作氣體并加熱產生等離子體,離子轟擊工件表面,剝離附著的污染物。此過程高效、無污染、無殘留。
真空等離子清洗機*的清潔效果,成為現代工業生產的利器。它不僅能夠提高產品質量,延長使用壽命,還能提高生產效率,降低環境污染。
儀器特點:
● 不銹鋼腔體,具有良好的耐用性
● 電極板上下可調,適應各種大小的樣品
● 一鍵啟停,人性化設計,簡單易學
● 結構穩定,密封性好
● 無材料二次污染和環境污染,效率大大高
● 采用13.56MHz射頻電壓,完成清洗去污的同時,還可以改善材料本身的表面性能
● 觸摸按鍵,液晶顯示屏+雙浮子流量計精準控制,經濟實用
應用領域:
● 半導體元件、印刷線路板的清洗、改性
● 高分子材料表面修飾
● 生物芯片、微流控芯片的清洗
● 各種形狀的人工晶體、ATR元件、天然晶體和寶石清洗
● 光學鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片的清洗
● 各種陶瓷、金屬基片上的殘留凝膠等雜質的清洗
● 芯片、電子元件、光學器件、激光器件、鍍膜基片等的清洗
● 各種醫療器材和儀器的清洗
技術參數:
腔體材質 | 316不銹鋼 |
容積 | 10L |
電極板 | 平板水浴電極 |
電極 | 專用鋁電極,上下間距可調 |
單次處理時間 | 工藝不同,處理時間不同,表面活化改性5~10分鐘內 |
工作真空度 | 20~60Pa |
真空泵極限壓力 | 0.5Pa(空載測試) |
抽真空時間 | ≤40秒(空載測試) |
破真空時間 | ≤20秒 |
等離子發生器 | 采用13.56MHz射頻電源,功率0-300W可調,射頻電源和阻抗器模塊化設計 |
供氣方式 | 電磁閥式 |
流量計控制 | 雙浮子流量計 |
流量計調節范圍 | 0~300ml/mi(可選) |
流量計精度 | 4% |
操作方式 | 人工取放工件,一鍵啟動自動控制 |
額定功率 | 1kw |
機臺供電 | AC-220V |
機臺重量 | ≈130Kg |