產品簡介
詳細介紹
1200度Φ60滑軌管式爐主要內容:
該設備主要用于CVD法制備石墨烯而研制的爐,也同樣適用于要求升降溫速度較快的CVD實驗。爐體采用開啟結構,爐底安裝有直線滑軌,當石墨烯生長結束后,左右靈活拉動爐體,能夠保證有足夠的空間使實驗樣品移出爐體,實驗快速降溫的要求。
1200度Φ60滑軌管式爐技術參數:
工作電源:單相 220V 50/60Hz 3Kw
標準配件
坩堝鉗1把、剛玉舟1只、爐鉤1把、管堵2只、石英管1根、304法蘭1套、密封圈4只、浮子流量計1只、耐高溫手套1雙、產品說明書1份、儀表說明書1份、保修證書1份。
可選配件
1、二三四路浮子或質子流量供氣系統。
2、DZK10-1低真空系統或GZK10-3高真空系統。
3、300W或500W等離子射頻電源。
4、可選配移動爐架,將管式爐放置在爐架上。
注意事項
1、為了不影響設備正常使用壽命,請不要過快升降溫。
2、請不要往管內通入超過0.02MPa的氣體壓力。
3、本設備使用一段時間后,爐膛會出現微小裂紋,屬于正?,F象,不會影響使用,可向業務人員免費索取氧化鋁涂層修補劑。
4、由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。
5、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態。
6、進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
7、石英管的長時間使用溫度≤1100℃
8、對于只對樣品加熱的實驗(不抽真空不通氣體),不建議使用時關閉爐管法的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱,您必須時刻關注壓力表的指數(氣壓會隨溫度升降而變化),若壓力表指數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,飛出等)。