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二氯硅烷氦離子色譜儀儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項(xiàng)目、上海市重點(diǎn)新產(chǎn)品、上海市火炬計(jì)劃和2009科學(xué)儀器產(chǎn)品等稱號。

項(xiàng)目名稱		指標(biāo)
三氯氫硅(SiHCl₃ )含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6^≤		10
(一氯硅烷+)含量（SiH₃Cl+HCl）含量”，以計(jì)（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		50
氮（N₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		1
（氧+氬）（O₂+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		1
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		1
氫（H₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		10
二氧化碳（CO₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		1
總烴（THC）含量，以甲烷（CH₄）計(jì)（體積分?jǐn)?shù)）/l0^-6≤		1
金屬元素及其他元素含量	（硼+鋁）（B+Al）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	（磷+砷）（P+As）含量/（µg/kg） ≤	0.3
	鎵（Ga）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	銻（Sb）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	銦（In）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	鈣（Ca）含量/（µg/kg） ≤	1
	鉻（Cr）含量/（µg/kg） ≤	1
	鐵（Fe）含量/（µg/kg） ≤	5
	鉀（K）含量/（µg/kg） ≤	1
	鈉（Na）含量/（µg/kg） ≤	0.2
	鎳（Ni）含量/（µg/kg） ≤	1
	鉬（Mo）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	錳（Mn）含量/（µg/kg） ≤	0.2
	銅（Cu）含量/（µg/kg） ≤	0.2
	鎘（Cd）含量/（µg/kg） ≤	0.5
	鈷（Co）含量/（µg/kg） ≤	0.5
	鋅（Zn）含量/（µg/kg） ≤	0.1

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