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ROHS無鹵測分析設備測試原理非常簡單：被測量樣品中的各種元素在受到源X射線照射以后，會發出特征X射線（也就是X熒光射線），這種特征在于，每種元素發出的熒光X射線的能量是不同的，每一種特定能量的X熒光就代表了一種特定元素的存在，也就是說，不同能量的特征X射線代表元素的種類，這就是定性測量；而在單位時間內每種能量的X熒光光子的數量，就代表了某種元素的含量，也就是定量測量。
ROHS無鹵測分析設備XRF測量方法有兩個突出的技術特點：一個XRF是一種相對測量方法，XRF儀器必須用標準樣品進行校正（或者叫做制作工作曲線）；另外就是XRF是一種“統計”測量方法，必須是X光子的數量足夠大，能夠滿足統計規律時，測量才能夠有意義。這兩個技術特點在實際的應用中非常重要。
ROHS無鹵測試儀設備EDXRF主要應該主要由以下部分構成：
一、X射線源系統；比較簡單的是采用放射源，但由于使用放射源危險性較大，所以目前大多采用X射線管，也叫X光管；另外，特殊情況下也有用加速器作為射線源的，但一般在現場儀器沒有辦法采用。本系統中比較主要的部件包括X光管、高壓電源、及相關的附屬設備，比如冷卻系統、控制系統等等。目前市場上能見到的EDXRF儀器大多采用50W的功率，即：50KV，1mA。X射線源系統關鍵的技術指標就是“穩定性”和功率的大小。X光管的功率和高壓電源的功率應該是配套使用的。二、探測系統。主要由探測器、前置放大器、主放大器、多道脈沖分析器等組成。這部分的技術參數和指標很多，也比較復雜，后續的討論中我們可以詳細的進行介紹。三、分析軟件和分析方法。四、重要的，輻射防護安全保護系統。五、其他配套系統，包括控制系統、濾光片系統、電源系統等等。對于X射線源系統，重中之重在于它的穩定性指標。對于EDXRF來說，穩定性的要求要略微低一些，但對于WDXRF來講，穩定性指標達不到要求，對于測試結果的影響是致命的。本系統中關鍵部件是X光管和高壓電源。我個人認為，高壓電源部分為關鍵，它對整個系統的穩定性起關鍵性的作用。它的技術指標包括：管壓穩定性、管流穩定性、溫度穩定性、紋波大小等等。目前，國內也有高壓電源生產，但個人認為，目前國內生產的高壓電源與上國家生產的產品還有很大的差距。因為高壓電源的技術并不復雜，關鍵是元器件性能和生產工藝過程的控制，目前，我國在這兩方面都還沒有成熟；因此，我個人建議，在選擇XRF分析儀器時，能選擇采用進口高壓電源的ＸＲＦ儀器，而不要在乎很小的價格差距。另外，我們在使用ＸＲＦ儀器的時候，也要特別注意幾點：１、打開和關閉Ｘ光管系統時，要逐漸的增加和逐漸降低Ｘ光管的管流和管壓，不要突然增加、或者在較高的管流和管壓的狀態下突然關閉儀器電源。２、在使用環境上，一定要環境的溫度和濕度條件，特別是在南方潮濕的天氣環境下，更要特別注意。儀器實驗室必須安裝空調設備。３、儀器的使用環境中，不能有酸霧存在，也就是說，ＸＲＦ儀器不要和化學實驗室在同一個房間內。因為Ｘ光管和探測器都有用金屬鈹做的窗口，金屬鈹很容易被酸腐蝕。對于應用于RoHS檢測的XRF儀器進行選擇和評價，一個的誤區就是：隨意抽取一個樣品，拿到檢測機構去檢測一下，然后拿到XRF儀器上再測量一下，那臺XRF測量的數據接近檢測機構的數據，就認為哪臺儀器好。這種挑選XRF的方法，從技術上來說是*錯誤的。--------------------------------------------------------------------------------我們繼續來討論這個問題，先我們來舉個的例子來說明：假設有一組（三種）材料，所含有害元素Pb的真實值分別為：100ppm，200ppm，300ppm，分別用兩臺XRF儀器，進行測試分析；其中一臺所得到的測試結果，三種材料數據分別為：180ppm，120ppm，220ppm；而另外一臺儀器的測試結果為：310ppm，400ppm，490ppm，我們來判斷一下，哪臺XRF分析儀更好？ 應該是第二臺儀器更好。 如果將系統誤差去掉，第二臺儀器的分析數據非常好。當然，產生系統誤差的原因有很多，比如，工作曲線的老化、材料基體的差異等等，但重要的是第二臺儀器可以清楚明確的給出元素含量的變化趨勢，這是XRF分析儀器重要的技術指標。這樣的儀器經過簡單的校正，就可以給出非常的分析結果。在這里需要強調的是，并不是為了篩選的可靠性，而錯誤的認為給出較大有害元素含量值的儀器就好，任何時候，儀器都應該給出盡量的分析結果，具體的允收標準應該由品管人員根據不同的情況來確定，而不是讓分析儀器自作主張。臺儀器的問題在于，我們沒有辦法從儀器的分析結果找到規律性的東西，用術語來說，就是熒光強度與元素含量沒有線性關系，而這種線性關系是XRF儀器分析測量的技術基礎。出現這種情況的根本原因可能有兩個：一、儀器的穩定性不好，二、沒有合理有效的解譜計算和分析方法。因此，我們在選擇XRF儀器時，僅僅用一個樣品的測試結果對儀器進行比較是*錯誤的，理由也就在這里。實際上，我們單獨看任何一個樣品的測試結果，從偏差上來說，臺儀器的結果都比第二臺儀器小。但讓我們深感不安的是，用戶在選擇XRF儀器的時候，往往是用不同類型的測試樣品，但每種類型的樣品只選擇一個測試點。正確的方法是：用同一類樣品，選擇有害元素含量不同的一組樣品進行測試，這樣才能對X