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一文看懂實驗室高純鍺γ能譜儀操作規程
閱讀：2384 發布時間：2021-10-22
實驗室高純鍺γ能譜儀是一種分析物質元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發物質發射出特征x射線，根據特征x射線的波長，定性與半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供樣品表面之微區定性或半定量之成份元素分析，以及特定區域之point、line scan、mapping分析。
實驗室高純鍺γ能譜儀操作規程：
一、開機順序（嚴格要求先后順序）
1、打開掃描電鏡“儀器”開關
2、打開掃描電鏡“工作站”開關
3、打開掃描電鏡“軟件”抽真空，開燈絲4、打開能譜“探測器”開關
5、打開能譜“工作站”
6、打開能譜“軟件”
7、從能譜軟件中打開“制冷(Cooling )”，制冷進入正常狀態（綠燈亮），10分鐘后才能進行能譜測量。
二、能譜使用注意事項
1、工件工作距離10mm
2、能譜測量時，要求關閉掃描電鏡的CCD
3、工件加電壓20kv
4、掃描電鏡的spot設置的大，能譜的CPS（輸入計數率）高
5、樣品越平越好
6、開關樣品門要輕，探測器窗口薄，怕震動7、樣品固定，不要有顆粒，顆粒吸附在探測器窗口，長期會使探測器損壞
8、不要清潔探測器，不可使用吹氣球吹探測器窗口
9、工作站防毒，不可使用U盤拷貝數據
三、關機順序（嚴格要求先后順序）
1、從能譜軟件中關閉“制冷”
2、關閉能譜“軟件”
3、關閉能譜“工作站”(若需傳輸數據，可不關)
4、關閉能譜“探測器”開關(不使用能譜儀時需關閉)
5、關閉掃描電鏡“軟件”
6、關閉掃描電鏡“工作站”開關
7、關閉掃描電鏡“儀器”
四、其他注意事項
1、能譜工作站用戶名密碼
能譜工作站，最好使用Administrator登陸，密碼apollo。其他賬戶登陸可能存在問題，最好不使用。
2、EDS工作站如果需要切換賬戶，需先將Cooling off(變紅)、TEAM軟件關閉后再切換賬戶，以免探測器IP無法釋放，導致故障。
3、能譜儀使用完畢需將電源關閉(綠燈滅)。
4、以后使用能譜儀需在掃描電鏡紙板登記中備注！！！以便實驗室登記管理。