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Volcano Series In Situ Holder針對快速變溫過程原位高分辨研究需求構建的原位觀察平臺，根據客戶需求結合MEMS微加工工藝內置加熱模塊、電學模塊和光學模塊，通過對樣品的外場控制完成熱學、電學及光學性質的研究。
Chip-Nova TEM Double tilt Holder(Optics/Biasing/Heating) 多功能雙傾樣品桿（光、電、熱）系統，同時涵蓋原位雙傾功能模塊、光學功能模塊、電學功能模塊、加熱功能模塊，可在透射電鏡中實現固體樣品微結構變化的原位表征。在原位雙傾轉角功能的基礎上，通過開創性的將光作為外部條件搭載在原位樣品臺系統上，結合MEMS微納加工制作的超低飄移微區加熱芯片，實現全新的雙傾-光-電-熱四功能耦合，在操作α/β角度轉動的同時，可同時引入光場刺激、電場刺激、熱場刺激，各功能模塊可同時在線工作并且相互獨立，互不干擾。
圖TEM多功能雙傾樣品桿示意圖
技術指標：
1) 樣品臺體材質：高強度鈦合金；
2) 電極數：4；
3) 視窗膜厚：無膜（樣品懸空）或25nm氮化硅；
4) 穩定漂移率＜1.5nm/min；
5) 傾轉角：α≥±25°，β≥±25°（實際范圍取決于極靴型號）；
6) 溫度范圍：RT~1300 ℃；
7) 溫度穩定性：≤±0.01 ℃（穩定狀態）；溫度精確度：>99%；溫度均勻度：>99.50%；
8) 光源波長：紫外-可見光-紅外；
9) 光源輻照強度：≥150 mW/cm2；
10) 光纖接口：高精密度的SMA連接器；
11) 電學模塊（pA-mA，普通模式±10V，高壓模式±200 V）；
12) 電場強度：≥400 kV/cm；
13) 適用電鏡：ThemoFisher/FEI，JEOL，Hitachi；
14) 適用極靴：ST，XT，T，BioT，HRP，HTP，CRP；
15) (HR)TEM/STEM支持；
16) (HR)EDS/EELS支持升溫過程及高溫檢測。
應用案例
1300℃恒溫，金屬合金擴散，芯片溫度穩定性好，漂移率低
室溫-1000℃變溫過程MOF材料碳化研究
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