薄膜怎么測厚度
測厚儀(thickness gauge)是用來測量材料及物體厚度的儀表。在工業(yè)生產中常用來連續(xù)或抽樣測量產品的厚度(如鋼板、鋼帶、薄膜、紙張、金屬箔片等材料)。
測厚儀按照測量方式可分為接觸式和非接觸式。接觸式測厚儀通過儀器與樣品表面接觸測量,從而得知測量結果。而有些樣品的表面容易破壞不宜測量,則衍生出各種非接觸式測量方法。例如:激光測厚儀、超聲波測厚儀、涂層澤厚儀、X射線測厚儀、薄膜測厚儀。
激光測厚儀
利用激光的反射原理,根據光切法測量和觀察機械制造中零件加工表面的微觀幾何形狀來測量產品的厚度,是一種非接觸式的動態(tài)測量儀器。它可直接輸出數(shù)字信號與工業(yè)計算機相連接,并迅速處理數(shù)據并輸出偏差值到各種工業(yè)設備。
2. 超聲波測厚儀
根據超聲波脈沖反射原理來進行厚度測量的,當探頭發(fā)射的超聲波脈沖通過被測物體到達材料分界面時,脈沖被反射回探頭,通過精確測量超聲波在材料中傳播的時間來確定被測材料的厚度。凡能使超聲波以恒定速度在其內部傳播的各種材料均可采用此原理測量。
適合測量金屬(如鋼、鑄鐵、鋁、銅等)、塑料、陶瓷、玻璃、玻璃纖維及其他任何超聲波的良導體的厚度。
3. 涂層測厚儀
采用電磁感應法測量涂層的厚度。位于部件表面的探頭產生一個閉合的磁回路,隨著探頭與鐵磁性材料間的距離的改變,該磁回路將不同程度的改變,引起磁阻及探頭線圈電感的變化。利用這一原理可以精確地測量探頭與鐵磁性材料間的距離,即涂層厚度。
4. X射線測厚儀
利用X射線穿透被測材料時,X射線的強度的變化與材料的厚度相關的特性,從而測定材料的厚度,是一種非接觸式的動態(tài)計量儀器。它以PLC和工業(yè)計算機為核心,采集計算數(shù)據并輸出目標偏差值給軋機厚度控制系統(tǒng),達到要求的軋制厚度。
主要應用行業(yè):有色金屬的板帶箔加工、冶金行業(yè)的板帶加工。
5. 薄膜測厚儀
使用兩個激光傳感器安裝在被測物(紙張)上下方,將傳感器固定在穩(wěn)定的支架上,確保兩個傳感器的激光能對在同一點上。隨著被測物的移動傳感器就開始對其表面進行采樣,分別測量出目標上下表面分別與上下成對的激光位移傳感器距離,測量值通過串口傳輸?shù)接嬎銠C,再通過我們在計算機上的測厚軟件進行處理,得到目標的厚度值。
適用于量程范圍內的塑料薄膜、薄片、隔膜、紙張、箔片、硅片等各種材料的厚度精確測量??梢詫崿F(xiàn)對紙張的非接觸式測量,避免對紙張造成形變引起誤差。測量精度達到微米級,是目前精度最高的測厚儀,并且可以在線測量。實現(xiàn)生產自動化的閉環(huán)控制。