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FEIN 4025441  AFSC1.7Q/N00 18V 230V

FEIN 4025441  AFSC1.7Q/N00 18V 230V

KUBLERE760 7DIG1TS 230VAC計時器
PHOENIXSAC-5P-M12MSPBTR高爐 終端電阻
TWKIW253/40-0.25-KFN-KHN
ZIEHL-ABEGGFB063-OEK-416L風扇
B&R AM374電源供應器
RADIO-ENGRGIE(雷恩)CMH120-30M-5533-1024-CR1000脈沖編碼器
DELTA TS2236 DC24V熱金屬檢測器
HYDACFZP 1/1.1/V/71/ 7/RV4.5潤滑油泵
NORELEM06292-1025080緊固件
HUBTEX電瓶接插件    4111266電瓶接插件
HYDACSB0330-0.75E1/112A9-330AB"
傳感器"
EMGKD941X-10valve
KOBOLDTMA-06420214 0-20MA溫度開關
MTSRHV0250MD631P102
IGUS2800.06.2.12.C備件
HEMOMATIK型號：HMFB00PS126 VI=270MM V2=335MM
HAWEAC40-1/4-250BAR蓄能器
NORELEMNLM 03120-016   CIMBLOT CYLIND配件
BAUER BG10-37/D08LA4-TF/C3 0.75KWMOTOR需銘牌
HYDAC壓力表 HM60-10-R-G1/2〃壓力表
HYDACEDS3348-5-0250-Y00壓力繼電器
MTSRHS0580MP101S1G6100 CABLE10M
EMGDMC500 N=160 8.5KW 18.7A多回轉開關型
LEINE&LINDE編碼器 RS530005351-100PPR編碼器
MTSRHN2800MR021A01
BARKSDALE SW2000 CP28-040甘油壓力表壓力表
PHOENIXQUINT-PS-100-240AC/24V10A電源模塊
BAUER TDSK-A10E/GZ備件需銘牌
HYDACHAD4744-A-060-000壓力變送器
BarksdaleSW2000-16-G-1軒盎MH17
STROMAG 閘片 參考:451793類型:US.2-4
HYDACRFBN/HC240DE20D1.X/-L24回油過濾器
LEINE&LINDE46019編碼器
RITTALSK3110 10(4)A MAX:30W 220VAC控制器
BEDIA CLS-50 500056Sensor
PHOENIXSAC-5P-M12MS PB TR機電
MTSRHM0150MR021A01
PHOENIXEMG22-DIO 4E-1N5408二極管
KUBLER8.5020.C004.4096.A034編碼器
RADIO-ENGRGIE(雷恩)GEC ALSTHOM PARVEX 伺服電機電機
HAWERK2G單向閥
WAYCONSM10-HYD-MH-18-5位移傳感器
HYDACDVP-10-01.X截止閥
HYDACVR2D.0/L24 24V/4A  46/07壓力傳感器
RADIO-ENGRGIE(雷恩)66247傳感器插頭
NSDMRE-32SP062SAC傳感器
BAUMER PBMN23B15AA14409211壓力變送器
FRAKO6*KIT50-400-7S+2*KIT25-400-7S電容
IGUSWFM-2023-16軸承
HYDAC1.13.08D06BN4濾芯
HYDACBLT-M-160-F-3-W-1-X G1通氣器
IGUS3800.20配件
MOOGD661-4651/G15JDAA6VSX2HA比例伺服閥
HYDACLYD-021-B-1.5-M溫度控制器
KUBLER8.5863.1200.G323.S013.K012旋轉編碼
ELERO    備件    JUNIOR  NR;250000387
ELERO    執行器    D-07381  20024342
ELERO    馬達電機    280007900 Junior 1 24VDC 70mm 2mm/s
ELERO    電機    130001859
ELERO    直線電機    Junior 2 NR.:290002203
ELERO    電機    100014302
ELERO    定位器    PICOLO XL200  NR:290003771
ELERO    線性傳感器    Type:Economo Nr:110004584
ELERO    備件    ECO HUM:80MM UN:400V-3AC 120012956
ELERO    直線電機    Junior 0E  stroke lengths(行程）100mm
ELERO    電機    junior 1 variant k 訂貨號：756783801
ELERO    線性傳感器    D-07381 Nr:110004584
ELERO    線性傳感器    type:economo nr:110004584
ELERO    電機    NO.6001440514.2
LHPw-10/4-L50
德國 ELSTER-0047 QA100 80Z PN16 10-160m3/h
德國 ELSTER-0034 QA100-80ZI DN100 Pmax: 16bar
德國 ELSTER-0007 QA10080Z1 SN:69170108/2006
德國 ELSTER-0044 QA10080ZI
德國 ELSTER-0046 QA160 80Z  PN16
德國 ELSTER-0036 QA160 80Z1 16bar Qmin :10m3/h
德國 ELSTER-0028 QA250
德國 ELSTER-0045 QA40 DN25 PN4流量計
德國 ELSTER-0033 QA65 50ZI
德國 ELSTER-0031 QA65ZI  渦輪流量計
德國 ELSTER-0055 Q型 Qmax=20000Nm3/h DN300,PN10
德國 ELSTER-0050 R054 250V/2A 1盒100只
德國 ELSTER-0009 TR Z G65 DN50 PN10
德國 ELSTER-0011 TRZ G1000 DN150 PN1.6MPA
德國 ELSTER-0015 TRZ2 G400 DN150 ANSI300
德國 ELSTER-0037 TRZ2-G250, DN80
德國 ELSTER-0026 TRZ2G250DH80PN16
德國 ELSTER-0058 TRZ2型氣體渦輪流量計G650
德國 ELSTER-0017 TVC G100 DN80 PN16
德國 ELSTER-0018 TVC G400 DN100 PN16  
德國 ELSTER-0016 TVC G400 DN100 PN16
德國 ELSTER-0019 TVC G65 DN50 PN1
  德國 ELERO-0001 EOO*** 出廠編號270002099415VA
德國 ELERO-0002 VAR101 序列號:270021479
德國 ELERO-0003 SN:290003456,24VDC  1.6A IP54
德國 ELERO-0005 Econom 01 D-07381 NO.280008854
德國 ELERO-0006 Typ：Compakt  Nr.290006989
德國 ELERO-0007 nr：100003335  1.1A 27W IP54
德國 ELERO D-07381  P06NECK
德國 ELERO-0009 Junlor OE SN.280012313
德國 ELERO-0010 ECO***  Nr:280013243
德國 ELERO-0011 Econom  1W/A  sn.99010284
德國 ELERO-0012 NR:270015119
德國 ELERO-0013 Typ:Compakt  sn.290017065
德國 ELERO-0014 290017065
德國 ELERO-0015 Typ:Compakt Juniorl
德國 ELERO-0016 Typ: Juniorl  nr.230909124
德國 ELERO-0017 Junior 1    Nr.:220201779
德國 ELERO-0018 Vario 1
德國 ELERO- Nr:280003207
德國 ELERO-0020 Econom 01D/A  sn.240201817
德國 ELERO-0021 EOO*** 出廠編號270002099
德國 ELERO-0022 junior 2   Nr:240201147
德國 ELERO-0023 Junior   Nr:.290010361
德國 ELERO-0024 Variol  755313101 800mm
LHPE-13/1-L50
LHPEw-13/1-L50
LHPE-13/2-L50V
LHPEw-13/2-L50V
LHP-13/2-L50
LHPw-13/2-L50
LHP-13/3-L50V
LHPw-13/3-L50V
LHP-13/3-L50
LHPw-13/3-L50
LHP-13/4-L50
LHPw-13/4-L50
LHP-13/4-L50V
LHPw-13/4-L50V
ELERO    直線電機    ECO   NR:280013243
ELERO    電機    Econom 01    NR:260002600   fn:50HZ    IP54
ELERO    線性傳感器    type:economo nr:110004584
ELERO    點火塞    VIRIOL No.250000745
ELERO    叉子電機    Compakt，Hub:200mm，Vhub:Ca.4mm/s，UN:400V+3AC，IN:1.3A，P:900vA
ELERO    叉子電機    Compakt ，Hub:200mm，Vhub:Ca.2mm/s，UN:400V+3AC，IN:1.3A，P:900vA
ELERO    執行器    D-07381  20024342
ELERO    線性傳感器    D-07381 Nr:110004584
ELERO    遙控器    NO.9000440416.47
ELERO    叉子電機    Compakt，Hub:200mm，Vhub:Ca.4mm/s，UN:400V+3AC，IN:1.3A，P:900vA
ELERO    叉子電機    Compakt ，Hub:200mm，Vhub:Ca.2mm/s，UN:400V+3AC，IN:1.3A，P:900vA
ELERO    線性傳感器    type:economo nr:110004584
ELERO    備件    ECO HUM:80MM UN:400V-3AC 120012956
ELERO    備件    JUNIOR  NR;250000387
ELERO    執行器    D-07381  20024342
ELERO    馬達電機    280007900 Junior 1 24VDC 70mm 2mm/s
ELERO    電機    130001859
ELERO    直線電機    Junior 2 NR.:290002203
ELERO    電機    100014302
ELERO    定位器    PICOLO XL200  NR:290003771
ELERO    線性傳感器    Type:Economo Nr:110004584
ELERO    備件    ECO HUM:80MM UN:400V-3AC 120012956
ELERO    直線電機    Junior 0E  stroke lengths(行程）100mm
ELERO    電機    junior 1 variant k 訂貨號：756783801
ELERO    線性傳感器    D-07381 Nr:110004584
ELERO    線性傳感器    type:economo nr:110004584
ELERO    電機    NO.6001440514.2
FEIN 30763368990
FEIN 54199012020
FEIN 30762418990
FEIN 訂貨編號：63801154007
FEIN 訂貨編號：63801120006
FEIN 訂貨編號：63717242010
FEIN 訂貨編號：71131861000
FEIN 鉆軸上的錐柄規格B16 DEeu 638  訂貨號：720540
FEIN 63806193010
FEIN KS10-38E 訂貨編號：72216760000
FEIN 訂貨編號：63803067028
FEIN 訂貨編號：63721006012
FEIN ABS14 訂貨編號：71130350017
FEIN BF10-280E訂貨編號：72280551000
FEIN 訂貨編號：63721009018
FEINMETALL H774LA1    F785.06.B250.G.300.L
FEIN 63726028010
FEIN WPO14-25E-不銹鋼基本套裝 訂貨號72214950010
FEIN 63723014019
FEIN 63726007014
FEIN 63714051014
FEIN 63723013011
FEIN 63726027010
FEIN 63726029010
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FEIN 63714058018
FEIN 63733003010
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FEIN 訂貨號:63806193010
FEIN 訂貨號:63717226010
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FEIN 訂貨號:63806193010
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FEIN 訂貨號63717226010
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FEIN RS 12-70E 訂貨號：72211350014
FEIN RS 12-70E 訂貨號：72211350014
FEIN WPO 14-25E 訂貨號：72214950010
FEIN ABS 18
FEIN WP012-27E 180# 63721009018
FEIN 貨號:63502144014   E型鋸片
FEIN 貨號:63502144014   E型鋸片
LENORD+BAUER DS290
LENORD+BAUER WA291 適配器
LENORD+BAUER GEL2443KNRG5K030-E
NORD SK25F  IEC112 NO:200558579-130012618824
LENORD+BAUER GEL2443KNRG5A030-E
NORD SK12080AZ-71S/4 No。200538714-500 12451840
LENORD+BAUER GEL2010XN1024ACR0S
LENORD+BAUER 2432T-1BC600
LENORD+BAUER GEL2443KNRG3K30-E
LENORD+BAUER GEL293-V-001600L013
LENORD+BAUER GEL292-V-001600L013
NORD Type SK 112M4 BRE60
NORD SK 0/2G 63 S/4 2G RD
NORD SK 100AH/4 TF
NORD TYPE:SK 9043.1-90S/6 F IG 12K
NORD TYPE:SK 80S/6 BRE5 TF F IG 12K
LENORD+BAUER 2443Y015
LENORD+BAUER 2443Y015
NORDSON PN:1007034
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK06
LENORD+BAUER GEL 2478XWP400KANK02(6線） 長度29mm 電纜長度2m
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK06
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK02
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK06
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK02(長度29毫米
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK02
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK06
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK02
LENORD+BAUER GEL293-V-02048L011 Nr.L260307
LENORD+BAUER 2432T-1 BC600
LENORD+BAUER GEL260C-00000B033測速傳感器
LENORD+BAUER GEL260C-00000B033測速傳感器
LENORD+BAUER GEL243Y017
LENORD+BAUER GEL243Y017
LENORD+BAUER GG 66(6-pole straight)
LENORD+BAUER GEL 207-VN01000A533
LENORD+BAUER GEL 260-VN00500B731
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LENORD+BAUER ZFN0757-5
LENORD+BAUER GEL2443Y005 SN:0942001220
LENORD+BAUER GEL260C-000000B033
NORD SK372-100LA/4  序列號：200834697-200
NORD SK100LA/4     序列號：35712601
NORD SK80L/4
NORD SK0-63L/4 931331369800003
NORD SK1S175 60791000 50931384 15988657
NORD SK1S163 60691000 51138395  17033772
NORD Type SK 71L/4

經濟手動型

根據客戶需求定制

chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)

X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)

chuck Z軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離

顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)

顯微鏡移動方式:立柱環繞型、移動平臺型、龍門結構型(可選)

探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關

可搭配Probe card測試

適用領域:晶圓廠、研究所、高校等

半自動型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動移動行程200mm/150mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數6~8顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測試

適用領域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產品

電動型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)

X,Y電動移動行程300mm x 300mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm，微調精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數8~12顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

材質:花崗巖臺面+不銹鋼

可搭配Probe card測試

適用領域:12寸Wafer、IC測試之產品

LCD半自動探針臺

機械手臂取放片

電動、鍵入坐標尋位置

量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動探針臺

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測分析

機臺尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

PCB量測探針臺(TDR)

高頻測試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機臺尺寸同LCD 探針臺

太陽能產業探針臺(Solar Cell 量測系統)

量測軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽光模擬器

錨點折疊編輯本段自動探針臺的維護
探針測試臺x-y工作臺的分類

縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類，即:以美國EG公司為代表的平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產的采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大，所以其使用維護保養不可一概而論，應區別對待。

x-y工作臺的維護與保養

無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其核心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的，所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一介紹。

2.1 平面電機x-y步進工作臺的維護與保養

平面電機由定子和動子組成，它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺， 動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。

而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命，損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。

由于平面電機的定子及動子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生銹蝕現象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細心，不可使定子表面出現凹凸不平的現象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用工具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內嵌氣孔螺母檢查是否有雜質堵塞氣孔，處理完畢后應恢復內嵌氣孔螺母原始狀態。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機應使用在環境溫度15~25 ℃，相對濕度小于50%的環境中，其所需的壓縮空氣必須經過干燥過濾處理且與環境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。

2.2 滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養

相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業的儀器儀表調整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態，所以對需要調整的工作臺應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。

錨點折疊編輯本段高精度探針臺
目前出貨量*的型號吸收了新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關技術，這種全新的高精度系統為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。

特性1:OTS-近的位置對正系統(光學目標對準) OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術，來源于東京精密的度量技術。OTS實現了以自己為參照的光學對準系統。

特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統) 為了有效的達到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性*是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉換裝置(QPU)，達到高剛性，高穩定度的接觸。

特性3:裝載部件

令客戶滿意的測試環境，可以提供從前部開始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動物料輸送系統應用做好了準備。

特性4:TTG(一點即到)

更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點一下，相關的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關的設定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。

經濟手動型

根據客戶需求定制

chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)

X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)

chuck Z軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離

顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)

顯微鏡移動方式:立柱環繞型、移動平臺型、龍門結構型(可選)

探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關

可搭配Probe card測試

適用領域:晶圓廠、研究所、高校等

半自動型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動移動行程200mm/150mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數6~8顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測試

適用領域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產品

電動型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)

X,Y電動移動行程300mm x 300mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm，微調精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數8~12顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

材質:花崗巖臺面+不銹鋼

可搭配Probe card測試

適用領域:12寸Wafer、IC測試之產品

LCD半自動探針臺

機械手臂取放片

電動、鍵入坐標尋位置

量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動探針臺

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測分析

機臺尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

PCB量測探針臺(TDR)

高頻測試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機臺尺寸同LCD 探針臺

太陽能產業探針臺(Solar Cell 量測系統)

量測軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽光模擬器

錨點折疊編輯本段自動探針臺的維護
探針測試臺x-y工作臺的分類

縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類，即:以美國EG公司為代表的平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產的采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大，所以其使用維護保養不可一概而論，應區別對待。

x-y工作臺的維護與保養

無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其核心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的，所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一介紹。

2.1 平面電機x-y步進工作臺的維護與保養

平面電機由定子和動子組成，它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺， 動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。

而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命，損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。

由于平面電機的定子及動子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生銹蝕現象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細心，不可使定子表面出現凹凸不平的現象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用工具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內嵌氣孔螺母檢查是否有雜質堵塞氣孔，處理完畢后應恢復內嵌氣孔螺母原始狀態。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機應使用在環境溫度15~25 ℃，相對濕度小于50%的環境中，其所需的壓縮空氣必須經過干燥過濾處理且與環境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。

2.2 滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養

相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業的儀器儀表調整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態，所以對需要調整的工作臺應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。

錨點折疊編輯本段高精度探針臺
目前出貨量*的型號吸收了新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關技術，這種全新的高精度系統為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。

特性1:OTS-近的位置對正系統(光學目標對準) OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術，來源于東京精密的度量技術。OTS實現了以自己為參照的光學對準系統。

特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統) 為了有效的達到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性*是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉換裝置(QPU)，達到高剛性，高穩定度的接觸。

特性3:裝載部件

令客戶滿意的測試環境，可以提供從前部開始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動物料輸送系統應用做好了準備。

特性4:TTG(一點即到)

更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點一下，相關的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關的設定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。

經濟手動型

根據客戶需求定制

chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)

X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)

chuck Z軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離

顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)

顯微鏡移動方式:立柱環繞型、移動平臺型、龍門結構型(可選)

探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關

可搭配Probe card測試

適用領域:晶圓廠、研究所、高校等

半自動型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動移動行程200mm/150mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數6~8顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測試

適用領域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產品

電動型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)

X,Y電動移動行程300mm x 300mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm，微調精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數8~12顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

材質:花崗巖臺面+不銹鋼

可搭配Probe card測試

適用領域:12寸Wafer、IC測試之產品

LCD半自動探針臺

機械手臂取放片

電動、鍵入坐標尋位置

量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動探針臺

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測分析

機臺尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

PCB量測探針臺(TDR)

高頻測試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機臺尺寸同LCD 探針臺

太陽能產業探針臺(Solar Cell 量測系統)

量測軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽光模擬器

錨點折疊編輯本段自動探針臺的維護
探針測試臺x-y工作臺的分類

縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類，即:以美國EG公司為代表的平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產的采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大，所以其使用維護保養不可一概而論，應區別對待。

x-y工作臺的維護與保養

無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其核心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的，所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一介紹。

2.1 平面電機x-y步進工作臺的維護與保養

平面電機由定子和動子組成，它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺， 動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。

而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命，損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。

由于平面電機的定子及動子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生銹蝕現象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細心，不可使定子表面出現凹凸不平的現象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用工具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內嵌氣孔螺母檢查是否有雜質堵塞氣孔，處理完畢后應恢復內嵌氣孔螺母原始狀態。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機應使用在環境溫度15~25 ℃，相對濕度小于50%的環境中，其所需的壓縮空氣必須經過干燥過濾處理且與環境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。

2.2 滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養

相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業的儀器儀表調整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態，所以對需要調整的工作臺應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。

錨點折疊編輯本段高精度探針臺
目前出貨量*的型號吸收了新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關技術，這種全新的高精度系統為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。

特性1:OTS-近的位置對正系統(光學目標對準) OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術，來源于東京精密的度量技術。OTS實現了以自己為參照的光學對準系統。

特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統) 為了有效的達到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性*是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉換裝置(QPU)，達到高剛性，高穩定度的接觸。

特性3:裝載部件

令客戶滿意的測試環境，可以提供從前部開始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動物料輸送系統應用做好了準備。

特性4:TTG(一點即到)

更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點一下，相關的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關的設定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。