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一般分為三部分，1，壓縮空氣部分（空氣壓縮機，空氣儲氣罐）2，壓縮空氣凈化部分（前置粗過濾器，除塵過濾器，微油污過濾器，壓縮空氣干燥機，活性炭過濾器，空氣緩沖罐）3，制氮主機（吸附塔，PLC控制器,切換閥，氮氣工藝罐，氮氣粉塵過濾器，流量計，氮氣儲氣罐），如果純度大于99.99%時，就會有第4部分，氮氣純化部分，一般有催化劑純化，和氫氣純化兩種。深冷空分制氮是一種傳統的制氮方法，已有近幾十年的歷史。它是以空氣為原料，經過壓縮、凈化，再利用熱交換使空氣液化成為液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸點不同，通過液空的精餾，使它們分離來獲得氮氣。